多結晶シリコン薄膜の面外曲げ共振振動を用いたメンブレンの信頼性試験
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概要
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- 2012-07-01
著者
-
田畑 修
京都大学 工学研究科
-
田畑 修
立命館大学 理工学部 機械工学科
-
土屋 智由
(株)豊田中央研究所
-
田畑 修
京都大学大学院 工学研究科
-
土屋 智由
京都大学大学院
-
田畑 修
京都大学 大学院 工学研究科
-
田畑 修
立命館大学理工学部機械工学科
-
和戸 弘幸
株式会社デンソー基礎研究所
-
種村 友貴
京都大学大学院 工学研究科
-
山下 秀一
(株)デンソー
-
土屋 智由
京都大学 工学研究科
-
竹内 幸裕
(株)デンソー
-
和戸 弘幸
(株)デンソー 基礎研究所
-
竹内 幸裕
(株)デンソー エレクトロニクス研究部
-
山下 秀一
(株)デンソー エレクトロニクス研究部
-
種村 友貴
(株)デンソー エレクトロニクス研究部
-
和戸 弘幸
(株)デンソー エレクトロニクス研究部
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