2種類の液滴の界面張力を用いた逐次積層セルフアセンブル
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概要
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In this paper, a new sequential stacking self-assembly using interfacial tension of two different droplets of TEGDMA (Triethyleneglycol Dimethacrylate) and 42Sn-58Bi solder was proposed. TEGDMA with an additional thermal initiator is liquid at room temperature and hardens by heat. 42Sn-58Bi solder is solid at room temperature and melts at 138 °C. Since interfacial tension of TEGDMA and 42Sn-58Bi solder are selectively utilized by setting the process temperature at room temperature for TEGDMA and 150 °C for 42Sn-58Bi solder, the sequential self-assembly of different components can be realized. The feasibility of the proposed process and alignment accuracy were experimentally examined using 1 mm square silicon chips as test components. The first component assembly on a substrate was carried out at room temperature using TEGDMA as an adhesive agent, and the second component assembly on the assembled component was carried out at 150 °C using 42Sn-58Bi solder as an adhesive agent. Both self-assembly processes were carried out in EG (Ethylene Glycol) solvent with an additional sulfuric acid. It was confirmed that the first and second self-assembly was successfully done at room temperature and at 150 °C, and alignment accuracy of first and second self-assembly were 33 μm and a few μm, respectively.
- 社団法人 電気学会の論文
著者
-
土屋 智由
(株)豊田中央研究所
-
土屋 智由
豊田中央研究所 半導体デバイス・センサ研究室
-
土屋 智由
京都大学大学院
-
土屋 智由
大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻
-
土屋 智由
株式会社豊田中央研究所
-
菅野 公二
京都大学工学研究科マイクロエンジニアリング専攻ナノ・マイクロシステム工学研究室
-
土屋 智由
京都大学工学研究科マイクロエンジニアリング専攻ナノ・マイクロシステム工学研究室
-
田畑 修
京都大学工学研究科マイクロエンジニアリング専攻ナノ・マイクロシステム工学研究室
-
樋口 雄一
京都大学大学院 工学研究科
-
樋口 雄一
京都大学工学研究科マイクロエンジニアリング専攻
-
田畑 修
京都大学工学研究科マイクロエンジニアリング専攻
-
菅野 公二
京都大学工学研究科マイクロエンジニアリング専攻
-
土屋 智由
京都大学工学研究科マイクロエンジニアリング専攻
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