単結晶シリコンの引張強度評価の Round Robin Test : 試験片作製プロセスの開発

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概要

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• 2000-09-13

著者

• 佐藤 一雄

  名古屋大学大学院工学研究科

• 佐藤 一雄

  名古屋大学

• 式田 光宏

  名大

• 式田 光宏

  名古屋大学

• 土屋 智由

  (株)豊田中央研究所

• 坂田 二郎

  (株)豊田中央研究所

• 小川 博文

  機械技術研究所

• 土屋 智由

  京都大学大学院

• 土屋 智由

  大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻

• 武田 光宏

  名古屋大学

• 式田 光宏

  名古屋大学 大学院工学研究科

• 小川 博文

  独立行政法人産業技術総合研究所

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