A-11 摩擦力顕微鏡用二軸独立型プローブの摩擦力・鉛直力の検出におけるクロストーク効果(口頭発表:ヘッド・ディスク・インターフェイス)
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概要
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Conventional friction force microscopes (FFMs) had the disadvantage of low force sensitivity due to mechanical interference between torsion caused by friction force and deflection by normal force. To overcome this disadvantage, we developed a dual-axis micro-mechanical probe that measures the lateral force with a double cantilever and the vertical force with a torsion beams. We investigated force sensitivities by FFM measurements and mechanical interference by finite element method. It is clarified that the dual-axis probe has high force sensitivity and low crosstalk effect.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2010-03-16
著者
-
伊藤 伸太郎
名古屋大学大学院工学研究科
-
福澤 健二
名古屋大学大学院工学研究科
-
福澤 健二
名大
-
張 賀東
名大
-
雨川 洋章
名大院
-
伊藤 伸太郎
名大
-
式田 光宏
名大
-
武田 光宏
名古屋大学
-
式田 光宏
名古屋大学 大学院工学研究科
-
張 賀東
名古屋大学情報科学研究科
-
福澤 健二
名古屋大学
-
雨川 洋章
名大:学振
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