MNM-P6-6 摩擦力顕微鏡用二軸独立検出型マイクロ・メカニカルプローブの高精度化(P6 情報・精密機器におけるマイクロ・ナノテクノロジー)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
Conventional friction force microscopes (FFM) had the disadvantage of low force sensitivity due to mechanical interference between torsion caused by friction force and caused deflection by normal force. We have developed dual-axis micro-mechanical probe. It measures the lateral force by detecting the deflection of the double cantilever and measures the vertical force by the torsion beam. To quantify the friction force, it is import to improve the detection sensitivity of the lateral displacement and calibrate the displacement accurately. In this study, we present methods for improvement of displacement sensitivity and accurate calibration.
- 2010-10-12
著者
-
伊藤 伸太郎
名古屋大学大学院工学研究科
-
福澤 健二
名古屋大学大学院工学研究科
-
福澤 健二
名大
-
張 賀東
名大
-
雨川 洋章
名大院
-
伊藤 伸太郎
名大
-
式田 光宏
名大
-
武田 光宏
名古屋大学
-
式田 光宏
名古屋大学 大学院工学研究科
-
張 賀東
名古屋大学情報科学研究科
-
福澤 健二
名古屋大学
-
雨川 洋章
名大:学振
-
辻 弘明
名大院
関連論文
- ナノすきま潤滑現象解明のための高精度すきま制御型垂直力・剪断力同時計測法(機械要素,潤滑,設計,生産加工,生産システムなど)
- 紫外線照射によるナノ液体潤滑膜のパターニングに関する粗視化分子動力学シミュレーション(機械要素,潤滑,設計,生産加工,生産システムなど)
- 光ファイバープローブを用いた単分子厚さの液体潤滑薄膜の動的粘弾性計測(機械力学,計測,自動制御)
- フェンス状ナノ構造配列を利用した電気泳動に基づくDNA分離に及ぼす印加電圧とフェンス形状の影響(機械力学,計測,自動制御)
- 717 ピラー型ナノ構造配列を利用した電気泳動DNA分離における駆動電圧とピラー形状の影響(S07-3 マイクロ・ナノバイオメカニクス(3),S07 マイクロ・ナノバイオメカニクス)
- 磁気ディスクとダイヤモンド触針との間に形成される分子液架橋のばね定数と減衰係数の測定(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 磁気ディスク表面における単分子層潤滑膜の摩擦特性に及ぼす溶媒の効果
- 名古屋大学 福澤研究室
- 磁気ディスク表面単分子層潤滑膜における流動分子と固定分子の摩擦特性(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 420 局所的に異なる表面構造のナノ厚さ潤滑膜の分布(T03-4 マイクロナノ理工学:nmからmmまでのテクスチャリングの創成と機能(4),大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 419 固定分子と流動分子から成る単分子液体潤滑膜の表面流動特性(T03-4 マイクロナノ理工学:nmからmmまでのテクスチャリングの創成と機能(4),大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 418 パターン状に分布させた固定分子潤滑膜表面における流動分子の挙動解明(T03-4 マイクロナノ理工学:nmからmmまでのテクスチャリングの創成と機能(4),大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 302 高精度な摩擦力顕微鏡用二軸独立検出型マイクロ・メカニカルプローブの開発(T01-1 マイクロ・ナノダイナミクスの計測と制御(1),大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 3815 光ファイバープローブを用いた単分子潤滑膜のナノレオロジー計測(S54 情報機器コンピュータメカニクス,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 3814 磁気ディスク表面における単分子層潤滑膜の摩擦特性に及ぼす溶媒の効果(S54 情報機器コンピュータメカニクス,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 磁気ディスク表面における分子潤滑膜に及ぼす紫外線照射の効果 : 分子末端基の影響(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- ナノ閉じ込めされた液体潤滑剤の粘弾性特性の周波数依存性(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 2309 多数の極性基をもつ高分子潤滑膜における表面解析のための分子動力学シミュレーション(要旨講演,一般セッション:マイクロナノ理工学)
- 2303 二軸独立検出型摩擦力顕微鏡用マイクロ・メカニカルプローブの高精度化(要旨講演,一般セッション:マイクロナノ理工学)
- 2302 紫外線照射によるナノ液体潤滑膜のパターニングに関する分子動力学シミュレーション(要旨講演,一般セッション:マイクロナノ理工学)
- 1410 高分解能エリプソメトリ顕微鏡によるナノ厚さ潤滑膜の動的観測(口頭講演,トピックスセッション:磁気ヘッド浮上すきま低減技術(2))
- 1406 紫外線照射による液体分子潤滑膜のパターニングのメカニズム(口頭講演,トピックスセッション:磁気ヘッド浮上すきま低減技術(1))
- 3023 フェンス状ナノ構造配列を用いたDNA分離用マイクロ流路における分子の運動解析(J21 マイクロナノ理工学,J21 マイクロナノ理工学)
- 自励・自己検出機能を有する水晶音叉型AFMプローブの開発
- 音叉型水晶振動子を用いた非接触型AFMプローブの設計および製作
- トライボロジーは難しい?
- S1603-1-2 磁気ディスク表面における単分子潤滑膜の動的特性におよぼす紫外線照射の影響(情報機器コンピュータメカニクス)
- S1603-1-1 分子動力学シミュレーションによる単分子層液体潤滑膜の凝着特性の解析(情報機器コンピュータメカニクス)
- T1601-2-3 フェンス状ナノ構造配列を用いたDNA分離用マイクロチップの設計理論の構築(マイクロナノダイナミクスの計測と制御・マイクロナノメカトロニクス(2))
- T1601-1-1 双音叉型共振器センサと光ファイバプローブによる水平・鉛直力同時計測法の開発(マイクロナノダイナミクスの計測と制御・マイクロナノメカトロニクス(1))
- T1101-3-2 表面ナノ構造を用いたナノ厚さ潤滑膜のパターニングにおける形状の効果(マイクロナノ理工学:nmからmmまでの表面制御とその応用(3))
- T0502-3-1 ナノメートルスケールの微小隙間に介在する液体高分子の動的粘弾性測定(マイクロ・ナノ領域におけるバイオ・熱流体の融合学術創成(3))
- 単分子PFPE潤滑膜の分子形態と流動過程(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 2206 PFPE単分子潤滑膜中における分子の形態と拡散過程(要旨講演,マイクロナノ理工学)
- 3412 SPM用プローブを使用したナノ分子潤滑膜の伸び量と凝着力の測定(S70-2 情報機器コンピュータメカニクス(2),S70 情報機器コンピュータメカニクス)
- 紫外線照射によるナノ液体潤滑膜のパターニングに関する粗視化分子動力学シミュレーション
- 光ファイバープローブを用いた単分子厚さの液体潤滑薄膜の動的粘弾性計測
- マイクロ・ナノトライボロジー現象の可視化技術
- 摩擦力・荷重の独立測定可能な摩擦力顕微鏡用マイクロプローブ(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 5707 二軸独立検出型摩擦力顕微鏡用マイクロ・メカニカルプローブの開発(J21-2 マイクロナノ理工学(2),J21 マイクロナノ理工学)
- 磁気ディスク表面における潤滑剤分子の配列構造の形成に伴う摩擦特性の変化(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 2311 磁気ディスク表面における潤滑剤分子の配列構造の形成に伴う摩擦特性の変化(要旨講演,情報機器コンピュータメカニクス)
- 2303 磁気ディスク表面における摩擦力に及ぼすPFPE潤滑剤の極性末端基の影響(要旨講演,情報機器コンピュータメカニクス2)
- 低コヒーレンス位相シフト干渉法を用いたナノ潤滑膜の三次元画像計測(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 回折シミュレーションに基づく溝状テクスチャ付き表面における分子潤滑膜の表面流動特性の測定(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 2203 粗視化分子動力学シミュレーションを用いた磁気ディスク上における単分子層潤滑膜の流動特性の解析(要旨講演,マイクロナノ理工学)
- 2302 低コヒーレンス光源を用いたマイケルソン干渉位相差方式によるヘッド浮上すきまの測定(要旨講演,情報機器コンピュータメカニクス)
- 1405 磁気ディスク表面における液体分子潤滑膜の減耗・修復特性に及ぼす紫外線照射の効果(口頭講演,トピックスセッション:磁気ヘッド浮上すきま低減技術(1))
- 「ナノトライボロジーの新展開」特集号発刊によせて
- 653 分子動力学法を用いた化学的テクスチャ表面における極性高分子薄膜の分布シミュレーション(OS8-1,OS8 マイクロ・ナノ工学)
- 652 エリプソメトリー顕微鏡を用いたナノ厚さ潤滑膜の可視化(OS8-1,OS8 マイクロ・ナノ工学)
- 651 ファイバーウォブリング法によるナノ液体潤滑膜のトライボロジー計測(OS8-1,OS8 マイクロ・ナノ工学)
- 表面ナノ構造による液体潤滑薄膜のぬれ性の制御
- 5703 ファイバーウォブリング法による単分子厚さの潤滑薄膜の粘弾性計測(J21-1 マイクロナノ理工学(1),J21 マイクロナノ理工学)
- 5701 シリコンウェハ表面におけるナノ分子潤滑膜のテクスチャ構造の形成(J21-1 マイクロナノ理工学(1),J21 マイクロナノ理工学)
- 5714 磁気ディスク上の分子潤滑膜の流動特性に及ぼす紫外線照射の効果 : 分子末端基の影響(S84-1 情報機器コンピュータメカニクス(1),S84 情報機器コンピュータメカニクス)
- 5712 SPM用プローブを使用したナノ液体潤滑膜の伸び量と凝着力の測定(S84-1 情報機器コンピュータメカニクス(1),S84 情報機器コンピュータメカニクス)
- ナノ厚さ潤滑膜のディウェッティング現象の可視化観測
- 分子動力学法による極性高分子潤滑膜の表面モルフォロジーの定量化 : モルフォロジー変動の膜厚依存性
- 紫外線照射による分子潤滑膜のナノ凹凸テクスチャの形成(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- (15)ファイバーウォブリング法によるナノ閉じ込めされた分子潤滑膜の粘弾性特性の測定(論文,日本機械学会賞〔2005年度(平成17年度)審査経過報告〕)
- 磁気ディスク表面におけるナノ分子潤滑膜の存在形態と流動特性に及ぼす紫外線照射の効果(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 磁気ディスクのDLC表面におけるPFPE系分子層潤滑膜の減耗・修復特性
- 双音叉型共振器を用いた高精度隙間制御可能な高感度力センサ(機械力学, 計測, 自動制御)
- プローブ陽極酸化を用いた表面ナノ構造の作製(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 2522 カンティレバーの過渡振動を用いた分子液架橋のダイナミクス : 動的凝着力の導入(S79-1 情報機器コンピュータメカニクス(1),S79 情報機器コンピュータメカニクス)
- 2521 カンティレバーの過渡振動を用いた分子液架橋のダイナミクス : 膜厚依存性の測定(S79-1 情報機器コンピュータメカニクス(1),S79 情報機器コンピュータメカニクス)
- 2520 磁気ディスク表面におけるナノ分子潤滑膜のテクスチャ構造の形成(S79-1 情報機器コンピュータメカニクス(1),S79 情報機器コンピュータメカニクス)
- 2811 DETF型共振器を用いたカセンサの開発(J20 マイクロナノ理工学,2005年度年次大会)
- 2810 分子動力学法による極性基をもつ高分子潤滑薄膜の表面モルフォロジー解析(J20 マイクロナノ理工学,2005年度年次大会)
- ナノ厚さ液体膜の力学特性解明のための高感度計測(すごーく小さいもの)
- 2304 磁気ディスクのDLC表面における分子潤滑膜の層数に依存したwetting/dewetting特性(要旨講演,情報機器コンピュータメカニクス2)
- 2302 磁気ディスク表面における分子潤滑膜の膜厚安定性に及ぼす紫外線照射の効果(要旨講演,情報機器コンピュータメカニクス2)
- 2204 ばね-ビーズモデルに基づくモンテカルロシミュレーションを用いた潤滑剤の表面流動特性の解析(要旨講演,マイクロナノ理工学)
- 2203 AFM陽極酸化を用いた表面ナノ構造の作製(要旨講演,マイクロナノ理工学)
- 光ファイバプローブを用いたナノ潤滑膜の力学特性計測
- エリプソメトリー顕微鏡による潤滑分子膜の膜厚分布定量観測(機械力学,計測,自動制御)
- 白色光源を用いた差分型エリプソメトリー顕微鏡による磁気ディスク表面の超薄膜潤滑膜の可視化(機械力学,計測,自動制御)
- ファイバーウォブリング法による超薄膜潤滑膜の粘弾性特性の測定 : 固定層の影響(S62-3 HDI(1),S62 情報機器コンピュータメカニクス)
- ファイバーウォブリング法によるナノ閉じ込めされた分子潤滑膜の粘弾性特性の測定(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- マイクロ構造を用いた固体表面上の潤滑薄膜の分離圧の測定
- 3202 ファイバーウォブリング法におけるせん断力測定の高感度化
- 3201 ファイバーウォブリング法によるナノ分子膜の液膜力の計測
- 105 ファイバーウォブリング法によるナノ分子膜のマイクロトライボロジー特性の計測
- T1602-2-2 摩擦力顕微鏡用二軸独立型プローブを用いた紫外線照射による潤滑膜の摩擦特性の変化の測定([T1602-2]マイクロナノ理工学:nmからmmまでの表面制御とその応用(2))
- T1601-2-2 マイクロ電気泳動チップにおけるDNA分離域拡大のための微細障壁配列構造に関する研究([T1601-2]マイクロナノメカトロニクス(2))
- S1604-1-3 磁気ディスク表面におけるナノ厚さ潤滑膜の凝着特性に与える紫外線照射の効果(ヘッド・ディスク・インターフェイス,社会変革を技術で廻す機械工学)
- F-3 2段結像型エリプソメトリー顕微鏡による液体ナノ薄膜の動的可視化(マイクロナノ理工学)
- A-9 単分子液体潤滑膜のタッチダウン・テイクオフ過程における粘弾性特性計測(口頭発表:ヘッド・ディスク・インターフェイス)
- MNM-P6-6 摩擦力顕微鏡用二軸独立検出型マイクロ・メカニカルプローブの高精度化(P6 情報・精密機器におけるマイクロ・ナノテクノロジー)
- MNM-P6-5 レーザー加熱下においてせん断されるナノ厚さ液体潤滑剤の粘弾性特性(P6 情報・精密機器におけるマイクロ・ナノテクノロジー)
- A-13 磁気ディスク表面における単分子層潤滑膜の摩擦特性 : アニールと紫外線照射の効果の比較(口頭発表:ヘッド・ディスク・インターフェイス)
- A-11 摩擦力顕微鏡用二軸独立型プローブの摩擦力・鉛直力の検出におけるクロストーク効果(口頭発表:ヘッド・ディスク・インターフェイス)
- 567 高感度な摩擦力顕微鏡用二軸独立検出型マイクロ・メカニカルプローブ(GS 機械材料・材料加工・潤滑)
- 566 ファイバーウォブリング法における高精度な隙間制御のための超高感度固体接触検出法(GS 機械材料・材料加工・潤滑)
- 564 エリプソメトリー顕微鏡を用いたナノ厚さ潤滑膜の動的可視化(GS 機械材料・材料加工・潤滑)
- ガスクラスタイオンビーム加工によるガラス面の表面粗さおよび表面エネルギーの変化
- D-1-1 静電アクチュエータ付き二軸独立型摩擦力顕微鏡用プローブの開発(D-1 マイクロアクチュエータ,口頭発表:マイクロナノメカトロニクス)
- B-1-3 プローブ共振を用いた高速摺動下におけるナノ厚さ潤滑膜の粘弾性計測に関する研究(B-1 ディスク潤滑膜の特性,口頭発表:ヘッド・ディスク・インターフェイス)
- G-1-1 ナノ隙間における液体の粘弾性と剪断配向特性の同時計測法に関する研究(G-1 マイクロナノ理工学,口頭発表:マイクロナノ理工学)