1410 高分解能エリプソメトリ顕微鏡によるナノ厚さ潤滑膜の動的観測(口頭講演,トピックスセッション:磁気ヘッド浮上すきま低減技術(2))
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概要
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Established ellipsometric microscopes have low resolution because diagonal observation set a limit to focused area due to focal depth of objective lens. In this paper, we represent a new illumination method. We arrange an objective lens pointing vertically downward to sample, and condense illumination light into back focal plane with shifted light from lens axis to peripheral spot. Therefore, we give off diagonal light from objective lens. Adopting this method, we can observe reflected light from sample in the same way of usual optical microscope. As a result, we can visualize fluid dynamics of nano-thick films with a high-resolution.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2008-03-17
著者
-
伊藤 伸太郎
名古屋大学大学院工学研究科
-
福澤 健二
名古屋大学大学院工学研究科
-
張 賀東
名古屋大学大学院情報科学研究科
-
福澤 健二
名大
-
張 賀東
名大
-
伊藤 伸太郎
名大
-
吉田 智彦
名大院
-
張 賀東
名古屋大学情報科学研究科
-
福澤 健二
名古屋大学
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