T1601-1-1 双音叉型共振器センサと光ファイバプローブによる水平・鉛直力同時計測法の開発(マイクロナノダイナミクスの計測と制御・マイクロナノメカトロニクス(1))
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概要
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Measurement of force with precise control between machine elements is needed for clarifying tribological properties of micro- and nano-machines, whose sliding gaps are very small. In this talk, we report simultaneous measurements of lateral and vertical forces by using double-ended tuning fork (DETF) resonator and optical fiber sliding probe.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2009-09-12
著者
-
伊藤 伸太郎
名古屋大学大学院工学研究科
-
福澤 健二
名古屋大学大学院工学研究科
-
張 賀東
名古屋大学大学院情報科学研究科
-
早川 康精
名古屋大学大学院工学研究科
-
松村 憲樹
名古屋大学大学院工学研究科
-
福澤 健二
名大
-
張 賀東
名大
-
伊藤 伸太郎
名大
-
松村 憲樹
名大院
-
早川 康精
名大院
-
張 賀東
名古屋大学情報科学研究科
-
福澤 健二
名古屋大学
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