F-3 2段結像型エリプソメトリー顕微鏡による液体ナノ薄膜の動的可視化(マイクロナノ理工学)
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概要
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Conventional ellipsometric microscopes have low resolution because the oblique imaging plane to an optical axis decreases the focused area when high resolution objective lenses are used. In this paper, we represent a new imaging method. Once the film is formed in space by the first optical system and observed by the second imaging system. This enables that we place the imaging plane vertical to the optical axis and expand the focused area. Using this method, we achieved a lateral resolution of 0.78 μm and a focused area of 115 μm. We also successfully visualized a liquid nano-thick film sheared by an optical fiber probe.
- 2010-03-16
著者
-
伊藤 伸太郎
名古屋大学大学院工学研究科
-
福澤 健二
名古屋大学大学院工学研究科
-
張 賀東
名大
-
伊藤 伸太郎
名大
-
福澤 健二
名大,JSTさきがけ
-
張 賀東
名古屋大学情報科学研究科
-
福澤 健二
名古屋大学
-
梶原 陽介
名大院
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