2303 二軸独立検出型摩擦力顕微鏡用マイクロ・メカニカルプローブの高精度化(要旨講演,一般セッション:マイクロナノ理工学)
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概要
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Conventional friction force microscopes (FFM) had the disadvantage of low force sensitivity due to mechanical interference between torsion caused by friction force and caused deflection by normal force. We have developed dual-axis micro-mechanical probe. It measures the lateral force by detecting the deflection of the double cantilever and measures the vertical force by the torsion beam. However, the method of detecting the probe lateral deflection has not been established. In this study, we present a new method precisely which detects the probe lateral displacement in order to detect the friction force.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2008-03-17
著者
-
伊藤 伸太郎
名古屋大学大学院工学研究科
-
福澤 健二
名古屋大学大学院工学研究科
-
張 賀東
名古屋大学大学院情報科学研究科
-
福澤 健二
名大
-
張 賀東
名大
-
雨川 洋章
名大院
-
伊藤 伸太郎
名大
-
式田 光宏
名大
-
武田 光宏
名古屋大学
-
式田 光宏
名古屋大学 大学院工学研究科
-
張 賀東
名古屋大学情報科学研究科
-
福澤 健二
名古屋大学
-
雨川 洋章
名大:学振
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