5707 二軸独立検出型摩擦力顕微鏡用マイクロ・メカニカルプローブの開発(J21-2 マイクロナノ理工学(2),J21 マイクロナノ理工学)

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概要

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• Conventional friction force microscopes (FFM) use torsion of a cantilever. The method has the disadvantage of low force sensitivity due to mechanical interference between torsion caused by friction force and deflection by normal force. In this paper, we present a novel probe, dual-axis micro mechanical probe. This probe has a structure where a torsion beam supports a double cantilever that detects lateral force. A vertical force is detected by rotation of the double cantilever around torsion beam axis.

• 社団法人日本機械学会の論文
• 2006-09-15

著者

• 福澤 健二

  名古屋大学大学院工学研究科

• 三矢 保永

  名大

• 福澤 健二

  名大

• 張 賀東

  名大

• 三矢 保永

  (財)名古屋産業科学研究所

• 雨川 洋章

  名大院

• 式田 光宏

  名大

• 武田 光宏

  名古屋大学

• 式田 光宏

  名古屋大学 大学院工学研究科

• 寺田 諭

  名古屋大学大学院工学研究科

• 寺田 諭

  名大院

• 張 賀東

  名古屋大学情報科学研究科

• 雨川 洋章

  名大:学振

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