プローブ陽極酸化を用いた表面ナノ構造の作製(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)

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概要

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• Probe oxidation-based surface-nanofabrication has been presented. Electrochemically generated oxide nano ridge structure can be fabricated using probes for atomic force microscopy. Moreover, removing the oxide ridge by hydrofluoric acid etching, nano groove structures can also be obtained. The relationship between the shape of nanostructures and fabrication conditions such as applied voltage and radius of curvature of the probe was studied. Finally, nano structures with very small height or depth (several tens-nm wide and sub-nm high or deep) have been fabricated by our method. This is very useful for clarifying nanotribology of micro or nanomechanical devices.

• 2005-10-25

著者

• 福澤 健二

  名古屋大学大学院工学研究科

• 張 賀東

  名古屋大学大学院情報科学研究科

• 三矢 保永

  名古屋大学大学院工学研究科

• 三矢 保永

  (財)名古屋産業科学研究所

• 三矢 保永

  名古屋大学 大学院工学研究科 電子機械工学専攻

• 出口 貴則

  名古屋大学

• 村松 拓郎

  名古屋大学 大学院

• 福澤 健二

  名古屋大学

• 出口 貴則

  名古屋大学 大学院

• 張 賀東

  名古屋大学 大学院情報科学研究科 複雑系科学専攻

• 張 賀東

  名古屋大学

• 三矢 保永

  名古屋大学

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