T1101-3-2 表面ナノ構造を用いたナノ厚さ潤滑膜のパターニングにおける形状の効果(マイクロナノ理工学:nmからmmまでの表面制御とその応用(3))
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概要
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Nano-structure-based patterning of nanometer thick lubricant films is presented. Nanometer thick lubricant films can be patterned on the nanometer-scale using the oxide nano-structure fabricated by probe oxidation. We clarified that the lubricant distribution strongly depends on the shape of nano-structure.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2009-09-12
著者
-
伊藤 伸太郎
名古屋大学大学院工学研究科
-
福澤 健二
名古屋大学大学院工学研究科
-
張 賀東
名古屋大学大学院情報科学研究科
-
福澤 健二
名大
-
張 賀東
名大
-
伊藤 伸太郎
名大
-
鹿田 悠介
名大院
-
伊村 優一
名大院
-
張 賀東
名古屋大学情報科学研究科
-
福澤 健二
名古屋大学
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