シリコン単結晶極薄ダイヤフラムのバルジ試験による機械特性評価
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 1999-09-07
著者
-
佐藤 一雄
名古屋大学大学院工学研究科
-
佐藤 一雄
名古屋大学
-
式田 光宏
名大
-
安藤 妙子
名古屋大学
-
式田 光宏
名古屋大学
-
吉岡 テツヲ
名古屋大学大学院
-
安藤 妙子
立命館大学
-
武田 光宏
名古屋大学
-
式田 光宏
名古屋大学 大学院工学研究科
-
吉岡 テツヲ
名古屋大学大学院:(現)(株)デンソー
-
安藤 妙子
名古屋大学工学研究科
-
森光 拓矢
名古屋大学
-
安藤 妙子
立命館大
関連論文
- ウェットエッチングによる特殊形状加工プロセスの新展開 : 単結晶シリコンの微細3次元加工の研究(第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム)
- 「第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム」小特集号発刊にあたって(第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム)
- 24・1 マイクロ・ナノ加工,材料(24.マイクロ・ナノ工学,機械工学年鑑)
- 302 高精度な摩擦力顕微鏡用二軸独立検出型マイクロ・メカニカルプローブの開発(T01-1 マイクロ・ナノダイナミクスの計測と制御(1),大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 2303 二軸独立検出型摩擦力顕微鏡用マイクロ・メカニカルプローブの高精度化(要旨講演,一般セッション:マイクロナノ理工学)
- 5-328 高度総合工学創造実験による創造的,自立的人材の育成を目指して : 名古屋大学工学研究科における創成教育の一取り組み(口頭発表論文,(12)エンジニアリングデザイン-II)
- シリコンのDRIEにおける大小開口混在パターン一括加工技術の開発
- 24・1 MEMS応用分野の話題(24.マイクロ・ナノ工学,機械工学年鑑)
- 537 繊維状触覚センサにおける力学的変形モデルとそれによる力検出評価(T04 MEMS技術を用いたヒューマンインターフェース,大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 430 単結晶シリコン薄膜の破壊靱性値 : 温度および方位依存性(T09-2 微小機械システムにおけるマイクロ・ナノ力学(2) 単結晶シリコンの力学特性,大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 単結晶シリコンのTEM内引張試験法の開発
- 織物状触覚センサにおける張力の影響
- ステント実装型流量センサの開発
- 結晶異方性ウェットエッチングによるスキャロッピングの選択除去法に関する研究
- 剪断変形型圧電素子を用いたアクティブヘッドスライダ
- 656 多段クラッチを用いたアレイ状触覚表示デバイスの開発(OS8-2,OS8 マイクロ・ナノ工学)
- 655 アルカリ性水溶液を用いたスキャロッピング除去法(OS8-2,OS8 マイクロ・ナノ工学)
- W01(1) マイクロ・ナノ工学専門会議発足の意義(【W01】機械工学におけるマイクロ・ナノ工学)
- 2839 単結晶シリコン薄膜の破壊靱性に及ぼす寸法と環境温度の効果(S08-3 微小機械設計・開発のための実験力学の新展開(3),S08 微小機械設計・開発のための実験力学の新展開)
- 2831 薄膜の曲げ試験用デバイスの開発(S08-2 微小機械設計・開発のための実験力学の新展開(2),S08 微小機械設計・開発のための実験力学の新展開)
- 中空糸材を用いた静電容量型織物状触覚センサ
- 自励・自己検出機能を有する水晶音叉型AFMプローブの開発
- MEMS'07 The 20^ IEEE International Conference on Micro-Electro-Mechanical Systems 報告
- 1100 MEMS産業基盤強化の最近の動向(キーノートスピーチ,マイクロメカトロニクス)
- 11-217 学年レベルに応じた階層的モノづくり実習コース : 創造工学センターを拠点とする実習コース開発の取り組み((7)ものつくり教育-V)
- 磁性微粒子を利用した液滴搬送によるマイクロ生化学システムの研究
- 機械加工とシリコンエッチングによる薬液導入路を持つマイクロニードルアレイの製作
- 音叉型水晶振動子を用いた非接触型AFMプローブの設計および製作
- MEMS開発力を強化するソフトウエア : プロセス開発に役立つ知識データベース(MEMS設計・製造技術)
- TiN薄膜の応力負荷に伴う破壊形態のその場AFM表面観察
- 158 名古屋大学大学院工学研究科における創造教育の試み : 高度総合工学創造実験の成果と問題点(創成教育V,第40セッション)
- 506 引張応力下における炭素系薄膜のその場 AFM ナノスケール観察
- 5.2.3.樹脂材料,その他の特性評価(5.2.マイクロ・ナノ構造体の強度特性評価)(5.材料力学)(機械工学年鑑)
- 原子分解能を有する応力負荷下でのその場表面観察システムの開発
- 第3回「シリコンの結晶異方性エッチングの物理化学ワークショップ」
- 平成14年全国大会E準部門関連講演・シンポジウム報告
- 337 原子分解能を有する応力負荷下でのその場表面観察システムの開発
- マイクロ薄膜材料の機械的特性の測定
- 433 AFMによる応力負荷下での薄膜の動的表面観察(加工の物理)
- マイクロマシン・センサの解析技術と開発支援ソフトウエア
- 薄膜材料を対象とするオンチップ引張疲労試験システムの開発
- 305 マイクロレバー型MEMSを用いた培養骨格筋細胞の収縮力測定法の開発(OS11-1:マイクロ・ナノバイオメカニクス(1),OS11:マイクロ・ナノバイオメカニクス)
- 2Ap11 マイクロレバー型発生力評価デバイスを用いた培養骨格筋細胞の収縮力測定法の開発(生物化学工学,一般講演)
- MEMS'07 The 20^ IEEE International Conference on Micro-Electro-Mechanical Systems 報告
- MEMS'07 The 20^ IEEE International Conference on Micro-Electro-Mechanical Systems 報告
- 生体適合性材料を用いた肺機能測定用流量センサの開発
- 低温環境下における単結晶シリコン薄膜の破壊挙動
- ウェアラブル実装に対応した円筒状繊維熱式加速度センサの提案
- 単結晶シリコンの引張強度評価の Round Robin Test : 試験片作製プロセスの開発
- 922 応力負荷下での薄膜の AFM 表面観察システムの作製と評価
- 1-212 体験実習付き授業プログラムの構築と実践 : 授業「材料加工学」補完実習2年間の取り組み(口頭発表論文,(02)専門科目の講義・演習-II)
- 4-329 授業「材料加工学」に連携した体感型実験システムの構築 : 授業補完実習の企画と実践((9)ものつくり教育-VII,口頭発表論文)
- 創作型モノづくり実習「CDクラッシャー」の設計製作
- 5-229 創造工学センターを拠点とする感性・創造実習,4年間の試み : 自由デザインメタルクラフト・モビール製作((7)ものつくり教育-IX)
- 5-227 電子回路系ものづくり教育コースの開発 : (第1報)市販「壁づたいねずみ」ロボットの発展的改良((7)ものつくり教育-IX)
- 2010年度精密工学会秋季大会報告--どまんなか名古屋で精密を語る
- 講義理解のための実習 : 機械系実習教育に対するあらたな要請
- Transducers 2009, Denver, Colorado, U.S.A : The 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems
- マイクロ・ナノトライボロジー現象の可視化技術
- MEMSデバイスで感触を与える
- 摩擦力・荷重の独立測定可能な摩擦力顕微鏡用マイクロプローブ(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 5707 二軸独立検出型摩擦力顕微鏡用マイクロ・メカニカルプローブの開発(J21-2 マイクロナノ理工学(2),J21 マイクロナノ理工学)
- 異方性ウエットエッチングによるモノづくり
- MEMS 2006 (19^ IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems) 報告
- 単結晶シリコンの異方性エッチングにおけるエッチレート分布の温度依存性
- エッチング技術を駆使した微細なモノづくり
- シリコン半球による結晶異方性エッチングの加工特性評価
- 結晶異方性エッチング解析システムMICROCADの開発(マイクロマシン関連技術)
- 薄膜材料の単結晶シリコンチップ上での引張試験
- シリコン単結晶極薄ダイヤフラムのバルジ試験による機械特性評価
- 薄膜材料のオンチップ引張試験法の提案と試験デバイスの製作
- オンチップ引張試験によるシリコン薄膜の応力とひずみの測定
- マイクロマシン材料の機械的特性評価
- 原子分解能を有する応力負荷下でのその場表面観察システムの開発
- 結晶異方性エッチングにおけるシリコン単結晶の粗面化
- 体験実習付き授業プログラムの開発と実践
- W2201 第一回マイクロ・ナノ工学専門会議若手サマースクール(ワークショップ)
- 結晶異方性エッチングの方位依存性の測定 : KOH水溶液の濃度と温度の効果
- 2P1-C22 透過型電子顕微鏡用ナノマニピュレータによるシリコンマイクロチップを用いたその場引張試験(ナノ・マイクロ作業システム)
- 講義理解のための実習 : 機械系実習教育に対するあらたな要請
- 24・1 マイクロ・ナノ加工,材料(24.マイクロ・ナノ工学,機械工学年鑑)
- T0302-2-6 TEM内における単結晶シリコン薄膜のその場引張試験([T0302-2]高信頼マイクロ・ナノデバイスのための設計・計測技術(2):応力・ひずみ計測)
- T1602-2-2 摩擦力顕微鏡用二軸独立型プローブを用いた紫外線照射による潤滑膜の摩擦特性の変化の測定([T1602-2]マイクロナノ理工学:nmからmmまでの表面制御とその応用(2))
- MNM-3A-1 単結晶シリコン薄膜の破壊靭性値 : 低温環境における温度依存性(セッション 3A 単結晶・多結晶シリコンの疲労寿命評価とメカニズムの解明)
- MNM-P6-6 摩擦力顕微鏡用二軸独立検出型マイクロ・メカニカルプローブの高精度化(P6 情報・精密機器におけるマイクロ・ナノテクノロジー)
- MNM-3A-5 単結晶シリコン薄膜のTEM内引張試験(セッション 3A 単結晶・多結晶シリコンの疲労寿命評価とメカニズムの解明)
- A-11 摩擦力顕微鏡用二軸独立型プローブの摩擦力・鉛直力の検出におけるクロストーク効果(口頭発表:ヘッド・ディスク・インターフェイス)
- 567 高感度な摩擦力顕微鏡用二軸独立検出型マイクロ・メカニカルプローブ(GS 機械材料・材料加工・潤滑)
- MNM-KN-1 MEMSに科学を : マイクロ・ナノ理工学の深化が産業を支える(キーノート・セッション)
- MEMS微細加工を用いたマイクロニードル作製法
- 4 薄膜材料評価(マイクロマシンの現状と動向)
- 微小流体制御素子(マイクロ構造デバイスの現状)
- 静電駆動マイクロアクチュエータ
- O3-3 微細気流計を用いた喘息モデルマウスの気流変化の観察(喘息と呼吸機能,口演,第62回日本アレルギー学会秋季学術大会)
- 5-5 異なる試験手法により得られたシリコンの疲労挙動の相互比較(セッション5:OS1-2 マルチスケール・シミュレーションとナノ計測)
- D-1-1 静電アクチュエータ付き二軸独立型摩擦力顕微鏡用プローブの開発(D-1 マイクロアクチュエータ,口頭発表:マイクロナノメカトロニクス)
- 国際会議報告：TRANSDUCERS 2013 The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems
- J111024 静電アクチュエータ付き二軸独立型摩擦力顕微鏡用プローブによる局所的粘性計測([J11102]マイクロナノ理工学:nmからmmまでの表面制御とその応用(2))
- MP-47 切欠き付単結晶シリコンの破壊の遷移とその寸法依存性(ポスターセッション)
- 国際会議報告：APCOT 2014 7th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies