2P1-C22 透過型電子顕微鏡用ナノマニピュレータによるシリコンマイクロチップを用いたその場引張試験(ナノ・マイクロ作業システム)
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概要
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In situ tensile tests of single crystal silicon beam are presented inside a Transmission Electron Microscope (TEM) by the nanomanipulator using silicon microchips. The process of cleavage creation is determined for a silicon beam by a CCD camera. The bend contours of the silicon beam are observed with the high resolution TEM images in a real-time scale.
- 2008-06-06
著者
-
中島 正博
名古屋大学大学院工学研究科
-
中尾 茂樹
名古屋大学
-
安藤 妙子
名大
-
佐藤 一雄
名大
-
安藤 妙子
立命館大学
-
福田 敏男
名古屋大学大学院工学研究科マイクロ・ナノシステム工学専攻
-
福田 敏男
名古屋大学
-
福田 敏男
名大
-
中島 正博
名大
-
佐藤 一雄
(株)日立製作所
-
荒井 重勇
名大
-
石原 英和
名大
-
中尾 茂樹
名大
-
安藤 妙子
立命館大
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