低温環境下における単結晶シリコン薄膜の破壊挙動

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概要

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• 2010-06-17

著者

• 佐藤 一雄

  名古屋大学大学院工学研究科

• 佐藤 一雄

  名古屋大学

• 安藤 妙子

  立命館大学

• 侘美 貴文

  名古屋大学

• 佐藤 一雄

  (株)日立製作所

• 安藤 妙子

  名古屋大学工学研究科

• 安藤 妙子

  立命館大

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