433 AFMによる応力負荷下での薄膜の動的表面観察(加工の物理)

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概要

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• 社団法人日本機械学会の論文
• 2001-03-01

著者

• 佐藤 一雄

  名古屋大学

• 松室 昭仁

  名大工

• 佐藤 一雄

  名大

• 粥川 君治

  名古屋大学大学院

• 粥川 君治

  名大院

• 松室 昭仁

  名大・工

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