1606 イオンビーム支援蒸着法による C-N 系薄膜形成時の N イオンアシスト効果

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概要

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• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 2000-07-31

著者

• 高橋 裕

  三重大

• 松室 昭仁

  名大工

• 松室 昭仁

  名大・工

• 太田 英伸

  名大院

• 太田 英伸

  名古屋大学大学院

• 長窪 健也

  名大学

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