508 基板励振により残留応力制御した薄膜の機械的特性

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概要

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• 社団法人日本機械学会の論文
• 2003-08-15

著者

• 松室 昭仁

  名大工

• 鈴木 崇雅

  名古屋大学大学院

• 松室 昭仁

  愛知工業大学工学部機械学科

• 松室 昭仁

  名古屋大学

• 鈴木 崇雅

  名大院工

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