イオンビーム支援蒸着法による窒化炭素膜形成におけるArイオン添加の効果
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概要
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- 1998-03-05
著者
-
山口 勝美
名大
-
松室 昭仁
名古屋大学工学研究科
-
松室 昭仁
名古屋大学
-
林 敏行
名古屋大学大学院
-
山口 勝美
(株)t.e.t
-
山口 勝美
名古屋大学工学部
-
山口 勝美
名古屋大学大学院
-
山口 勝美
名古屋大学
-
神崎 昌郎
名古屋大学大学院
-
神崎 昌郎
名古屋大 院
-
村松 睦生
名古屋大 院
-
林 敏行
名古屋大 院
-
村松 睦夫
名古屋大学大学院
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