カーボンナノチューブ探針を用いた高アスペクト比ナノスケール穴加工法の開発
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
Fabrication of a high aspect ratio nanoelectromechanical systems (NEMs) and nanodevices is an indispensable challenge as microelectromechanical systems shrink towards the nanoscale. Here, we focus our attention on a fabrication technique that makes use of the scanning tunneling microscope. Additionally, we tried to establish a fabricating method for a nanoscale pit with a high aspect ratio by using carbon nanotube (CNT) as the probe. The nanostructures produced were Au thin films on mica substrates that were prepared by magnetron sputtering. The results of our experiment show that a threshold value exists for the fabrication of the pits between 1V and 2V. The depth and diameter of the pit increased with the increase in the bias voltage and tunnel current, respectively. Consequently, a bias voltage of 3V and tunnel current of 4nA were found to be the optimum conditions for a high aspect ratio nanoscale pit fabrication up to 4.5. In changing the fabricating time, depth of the pit increased with the increase in fabricating time, with a little change in the diameter of the pit. This demonstrates that CNT probes can be useful for fabricating structures without changing the diameter of nanoscale CNT probe.
- 愛知工業大学の論文
著者
-
松本 章宏
産業技術総合研究所
-
井村 徹
愛知工業大学機械工学科
-
松室 昭仁
名古屋大学工学研究科
-
岩田 博之
愛知工業大学工学部電子工学科
-
高木 誠
愛知工業大学工学部機械学科
-
松室 昭仁
愛知工業大学工学部機械学科
-
間野 日出男
東郷製作所
-
高木 誠
愛知工大
-
松室 昭仁
名古屋大学
-
井村 徹
愛知工業大学 工学部 機械学科
-
岩田 博之
愛知工業大学
-
松本 章宏
産業技術総合研究所基礎素材研究部門
-
Matsumoto Akihiro
Institute For Structural And Engineering Materials National Institute Of Advanced Industrial Science
-
高木 誠
愛知工業大学
-
Imura T
Department Of Mechanical Engineering Aichi Institute Of Technology
-
Matsumura A
Advanced Technology Research Laboratories Nippon Steel Corporation
-
岩田 博之
愛工大
関連論文
- 銅合金鋳造における鋳型熱の電気エネルギーへの変換
- 超高速プラズマ照射とレーザー超急冷による表面改質(一般研究)
- MIM-Alの焼結特性に及ぼす元素粉末添加の効果
- TiN薄膜の応力負荷に伴う破壊形態のその場AFM表面観察
- 原子分解能を有する応力負荷下でのその場表面観察システムの開発
- 337 原子分解能を有する応力負荷下でのその場表面観察システムの開発
- Zr基金属ガラスの超塑性変形と微構造
- 高圧力合成Sr-Ca-Cu-O超伝導体の機械的性質
- Mg-Al-Zn系準結晶材料の超高圧力成形と機械的性質
- 単層カーボンナノチューブ探針の作製と高配向焼結グラファイトの加工
- カーボンナノチューブ探針を用いた高アスペクト比ナノスケール穴加工法の開発 : 単層カーボンナノチューブ探針の作製と高配向焼結グラファイトの加工
- 922 応力負荷下での薄膜の AFM 表面観察システムの作製と評価
- 11-218 大学1,2年生のための感性・創造実習やじろべ製作 : (第2報)再チャレンジできるプログラムの効果((7)ものつくり教育-V)
- 大学1, 2年生のための感性・創造実習やじろべ製作
- 鋳造技術と粉末冶金技術の融合による新材料開発--金属間化合物を活用した高機能硬質材料
- Cu-Zn-Si系鉛フリー銅合金鋳物の組織及び機械的性質に及ぼす冷却速度の影響
- レールガン溶射における被膜形成機構
- 弾性率・表面エネルギー・摩擦力の同時評価法の提案とフラーレン薄膜への応用
- 404 極限環境を利用した新規機械材料の創成(高圧力フォーラム, 複合材料の成形・加工最前線)
- 521 カーボンナノチューブチップを用いた薄膜材料のナノスケール加工
- 反応性シールド型真空アーク蒸着法によるAlN膜の合成
- メカニカルアロイング合成したTi-2at%Fe-10at%Si粉末の特性
- イオンビーム支援蒸着法によるTiN薄膜の配向制御
- イオンビーム支援蒸着法により形成されたTiN配向薄膜の変形特性に関する考察
- イオンビーム支援蒸着法により形成されたC-N系薄膜の耐摩耗性
- イオンビーム支援蒸着法による窒化炭素膜形成におけるArイオン添加の効果
- ダイナミックイオンミキシング法によるTi-N系薄膜の形成とその機械的性質
- イオンビーム支援蒸着法による窒化炭素膜形成におけるArイオン添加の効果
- 基板励振による薄膜の残留応力制御の機構
- イオンビーム支援蒸着法で形成した窒化炭素薄膜の破壊特性
- 基板励振により残留応力制御した薄膜の機械的性質
- 基板励振による薄膜の残留応力制御法の開発
- 弾性率・表面エネルギー・摩擦力の同時評価法の提案とフラーレン薄膜への応用
- 231 基板励振法による残留応力制御
- HI NICALONを強化材とした一方向繊維強化Si_3N_4複合材の機械的特性
- 単層C_60薄膜の形成と摩擦特性
- 104 フラーレン薄膜のマイクロトライボロジー特性の評価
- メカニカルアロイングによるTiB_2-20mass%Fe_3Alサーメット合金の作製
- ビスマス含有鉛フリー青銅鋳物の鋳造組織及び機械的性質
- TiC-20mass%Niサーメット合金のパルス通電焼結によるニアネット成形
- パルス通電焼結によるTi_5Si_3分散チタン合金の固化成形
- メカニカルアロイングによるFe-40at%Al+WC粉の合成とその成形体の機械的特性
- MA-パルス通電焼結法によるTi-2 at%Fe-10 at%Si ナノ結晶の作製とその特性
- 低温水素イオン注入により導入されたシリコン結晶欠陥の特性分析
- プロトン剥離現象における不純物依存性
- プロトン注入シリコンの加熱その場観察(プロジェクト研究)
- Hイオン注入されたシリコンの欠陥分布観察(プロジェクト研究)
- 水素イオン注入により発生したシリコン結晶内プレートレットのTEM観察
- イオンビーム支援蒸着法を用いて形成した窒化炭素薄膜のトライボロジー特性と微細構造との相関 : Arイオンアシスト効果
- 超高圧力溶体化処理Al-Li合金固溶体の時効過程における弾性係数の変化
- 超高圧力溶体化処理Al-Li合金固溶体の体積弾性率
- Al-Li合金の高圧状態図と弾性係数の変化
- 超高圧力処理によるAl-SiおよびAl-Ge過飽和固溶体の超伝導特性
- 擬ポテンシャル法によるアルミニウム合金固溶体の弾性定数の計算
- Al-Fe合金の高圧力状態図と弾性係数の変化
- ショットピーニングによる表層組織の変化と疲労強度の関係
- FeAl-WCの組織と機械的特性に与えるB添加の効果
- メカニカルアロイングを利用したCrSi_2熱電材料の作製
- MA-PCSプロセスによるターゲットを用いたBi-Te系熱電素子の作製
- Ti-Al金属間化合物のパルス通電焼結による成形
- Al基合金の超高圧力溶融実験における不純物の混入防止と融点検出の技術(高圧力 : 固体の高圧物性, 反応, 実験技術)
- 高圧力処理によるAl中へのPbの固溶限の変化
- MA-PCSプロセスによるターゲットを用いた(Bi_2Te_3)_(Sb_2Te_3)_熱電薄膜の作製
- 多モード共振法による圧延板材の弾性異方性の測定
- カーボンナノチューブ探針を用いた高アスペクト比ナノスケール穴加工法の開発
- ショットピーニングにより生じる表面組織と疲労強度の関係
- 711 ショットピーニングにより生成するナノ結晶層の腐食挙動(表面改質, 残留応力の測定と評価)
- ショットピーニングによって生成したナノ結晶相の疲労強度に及ぼす影響
- ショットピーニングによって発生する表面層の実体
- イオンビームミキシング法によるTiN薄膜の形成と機械的性質
- 溶湯攪拌法で作製したAlM/ZK51マグネシウム合金複合材料の高速超塑性
- AIN粒子強化マグネシウム合金複合材料の超塑性
- 自己組織化メソポーラスシリカの形態制御と機械的性質の評価
- Mg-Al 合金の高圧力状態図と固溶および時効による機械的性質の変化
- 504 超高圧力溶体化処理によるMg-Al合金の機械的性質(高圧による処理と影響)(圧力による影響・処理・変化)(オーガナイスドセッション5)
- イオンビーム支援蒸着法を用いたC-N系薄膜形成時のNおよびArイオンの照射効果
- アモルファス合金粉末の固化成形
- カーボンナノチューブ探針を用いた高アスペクト比ナノスケール穴加工法の開発
- 短時間メカニカルアロイングで合成したWC-20mass%Fe_3Al合金の機械的特性
- メカニカルアロイング法で合成したアモルファスチタン粉末のパルス通電焼結
- MoSi_2粉末とメカニカルアロイングで合成したFe-48at%Cr合金粉末混合粉のパルス通電焼結
- 引き上げ法によるカーボンナノチューブ探針の簡易作製
- Pt貴金属ガラスの変形挙動のその場観察
- ZrC粒子を含むZr55AlloNisCu30バルク金属ガラス複合材料のナノ結晶化挙動(プロジェクト研究)
- 高強度を有する急速凝固P/Mアルミニウム合金の耐摩耗性
- 急速凝固P/M Al-Ti-Fe-TM合金の耐摩耗性と耐熱性
- 高強度P/Mアルミニウム合金の摩耗特性
- ナノインデンテーション法によるTiN配向膜の機械的性質の評価
- SPMによる引掻き試験でシリコン単結晶に生じた微構造変化のTEM観察
- シリコン単結晶のマイクロ磨耗
- シリコン単結晶のマイクロ摩耗特性と摩耗組織
- 630 パルス通電焼結法におけるパルスの効果(新技術開発レポート)
- メカニカルアロイングを利用したFeAl-WCの作製
- Ti-Nb-Si のメカニカルアロイングとそのパルス通電焼結
- 原始的構造解析システムの現状と課題
- メカニカルアロイング合成したTi-2at%Fe-10at%Si粉末の特性
- MA-超高圧成形により作製したTi-37. 5at%Siバルク体の組織と機械的特性
- 真空焼結によるWC-FeAl超硬合金の作製
- 真空焼結によるWC-FeAl超硬合金の作製
- サーメット作製に使用するワックス系成形助剤