MA-PCSプロセスによるターゲットを用いた(Bi_2Te_3)_<0.25>(Sb_2Te_3)_<0.75>熱電薄膜の作製
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概要
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- 粉体粉末冶金協会の論文
- 2002-05-15
著者
-
小林 慶三
産業技術総合研究所
-
松本 章宏
産業技術総合研究所
-
小林 慶三
産業技術総合研 サステナブルマテリアル研究部門
-
山口 晃生
北川工業(株)
-
日下部 竜太
北川工業(株)
-
松本 章宏
産業技術総合研究所基礎素材研究部門
-
小林 慶三
National Inst. Advanced Industrial Sci. And Technol. (aist)
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