SPMを用いたSi単結晶のナノ加工と表面の構造変化
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概要
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The fabricating methods of nanoscale shapes on Si (100) surface by using atomic force microscope (AFM) and scanning tunneling microscope (STM) were investigated. As a result, nanoscale grooves and faces were fabricated by the scratching methods using AFM. The scratching loads had a major influence on these shapes. Nanoscale pits, grooves and faces were fabricated by STM as a result of controlling the sample bias voltage and the tip curvature radius of tungsten probes. Cross-sectional TEM observations of the nanoscale grooves and faces fabricated by AFM and STM were carried out to study the microstructural changes of Si single crystals. As a result of the TEM observations, it was found that many dislocations and an amorphous phase appeared in the surface of the grooves and faces fabricated by AFM. On the other hand, the single crystalline structure without a dislocation was preserved in the surface of the grooves and faces fabricated by STM. Based on these results, it is considered that the fabricating mechanisms of AFM and STM are a mechanical processing and an electric field evaporation, respectively.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 2007-10-05
著者
-
松室 昭仁
名古屋大学工学研究科
-
岩田 博之
愛知工業大学工学部電子工学科
-
高木 誠
愛知工業大学工学部機械学科
-
松室 昭仁
愛知工業大学工学部機械学科
-
高木 誠
愛知工大
-
松室 昭仁
名古屋大学
-
岩田 博之
愛知工業大学
-
Matsumoto Akihiro
Institute For Structural And Engineering Materials National Institute Of Advanced Industrial Science
-
高木 誠
愛知工業大学
-
吉田 浩也
愛知工業大学大学院
-
Matsumura A
Advanced Technology Research Laboratories Nippon Steel Corporation
-
岩田 博之
愛工大
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