MNM-3A-7 電圧印加に伴うナノスケール加工現象のTEM内その場観察(セッション 3A 単結晶・多結晶シリコンの疲労寿命評価とメカニズムの解明)
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概要
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Nanomachining is one of the key technologies for the practical use of MEMS or other engineering applications. To investigate the process of nanoscale SPM fabricating method, TEM in-situ observation system was constructed. In the system, the probe made of tungsten can be operated with nanometer scale accuracy by using piezoelectric element. When the probe was approached to HOPG specimen, the migration of HOPG with applied voltage was observed. When the probe contacted, the HOPG was fractured and dislocations were observed in the HOPG.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2010-10-12
著者
-
松室 昭仁
名古屋大学工学研究科
-
高木 誠
愛知工業大学工学部機械学科
-
高木 誠
愛知工大
-
松室 昭仁
名古屋大学
-
高木 誠
愛工大(工)
-
Matsumoto Akihiro
Institute For Structural And Engineering Materials National Institute Of Advanced Industrial Science
-
高木 誠
愛知工業大学
-
Matsumura A
Advanced Technology Research Laboratories Nippon Steel Corporation
-
江間 弘崇
愛工大院
-
松室 昭仁
愛工大
-
岩田 博之
愛工大
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