435 H^+注入されたSiの加熱剥離挙動(O.S.9. 機能薄膜創成と物性)
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概要
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- 社団法人日本機械学会の論文
- 2000-03-01
著者
-
高木 誠
愛知工業大学工学部機械学科
-
高木 誠
愛知工大
-
井村 徹
愛知工大
-
岩田 博之
愛知工大
-
徳田 豊
愛知工学部工学部電子工学科
-
徳田 豊
愛知工大
-
井村 徹
愛知工業大学 工学部 機械学科
-
岩田 博之
愛工大
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