不均一キャリア濃度分布がDLTS測定に及ぼす影響

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概要

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不均一キャリア濃度分布仁よるDLTS測定波形の変化について、数値計算仁より通常広く用いられている温度掃引容量過渡応答を求め明らかにした。容量過渡応答測定中の空乏層端がキャリア変化領域を通過する際、DLTS測定波形が歪む。単一電子トラップを仮定した場合仁おいて、複数のDLTS測定ピークが見られた。この見かけ上のピークは、DLTS測定の時定数を変化させてもほとんどそのピーク温度は変化せず、アレニウスプロットから電子放出の活性化エネルギーを求めると2・7eVと異常な値を示す。また、そのピーク高さは時定数の減少とともに大きく減少する。キャリアが不均一な試料のDLTS測定には、特別な注意が必要である。
1999-05-20

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