パーソナルコンピュータを用いた半導体中トラップの評価システムの製作
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概要
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Evaluation system of deep traps in pn and Schottky junctions, and MOS structures was developed by using personal computer. Deep level transient spectroscopy and weighted capacitance transient spectroscopy measurements are made by using this system. Zerbst and Schroder analyses are also performed for MOS structures. This simple measurement system can provide useful technique to detect traps in semiconductors.
- 愛知工業大学の論文
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