MNM-4A-6 CNT探針を用いたSTMによるカーボン材料の高アスペクト比ナノスケール加工(セッション 4A ナノ材料と熱工学)
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概要
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Nanodevices is an indispensable challenge as microelectromechanical systems shrink towards the nanoscale. Here, we focus our attention on a fabrication technique that makes use of the scanning tunneling microscope (STM). We performed nanoscale fabrication of Highly Oriented Pyrolytic Graphite (HOPG) using carbon nanotube (CNT) probe. The diameter of the pit fabricated by CNT probe was about 50 nm in an arbitrary condition, and the dimension is shrink to below 1/8 compared to tungsten probe. The aspect ratio was increased with increasing bias voltage, tunnel current and fabricating time respectively.
- 2010-10-12
著者
-
松室 昭仁
名古屋大学工学研究科
-
高木 誠
愛知工業大学工学部機械学科
-
松室 昭仁
愛知工業大学工学部機械学科
-
高木 誠
愛知工大
-
松室 昭仁
名古屋大学
-
Matsumoto Akihiro
Institute For Structural And Engineering Materials National Institute Of Advanced Industrial Science
-
高木 誠
愛知工業大学
-
Matsumura A
Advanced Technology Research Laboratories Nippon Steel Corporation
-
岩見 裕介
愛知工業大学大学院
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