Ar Ion Effect on Mechanical Properties of Carbon Nitride Films Prepared by Ion-Beam-Assisted Deposition
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概要
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- 社団法人応用物理学会の論文
- 2002-12-15
著者
-
TAKAHASHI Yutaka
Department of Physics, The Cancer Institute, Japanese Foundation for Cancer Research
-
松室 昭仁
愛知工業大学工学部機械学科
-
松室 昭仁
名古屋大学
-
Matsumuro Akihito
Department Of Mechanical Engineering Aichi Institute Of Technology
-
Ohta Hidenobu
Department Of Micro System Engineering Graduate School Of Nagoya University
-
Takahashi Yutaka
Department Of Clinical Physiology Senboku Kumiai General Hospital
-
Takahashi Yutaka
Department Of Mechanical Engineering Mie University
-
Takahashi Yutaka
Department Of Applied Systems Science Graduate School Of Engineering Kyoto University
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