Consideration of Deformation of TiN Thin Films with Preferred Orientation Prepared by Ion-Beam-Assisted Deposition

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概要

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• Plastic deformation of TiN thin films with (111) and (200) preferred orientation was determined based on their hardness anisotropy. Hardness was measured by means of the nano-indentation technique. Plastic deformation of TiN films was caused by the indentation of the trigonal diamond tip, and evidence of this phenomenon was provided by cross-sectional scanning electron microscopy (SEM) observation and transmission electron diffraction (TED) analysis. The influence of the differences in residual stress and grain size on hardness anisotropy was restrictive, and hardness anisotropy can be explained by the anisotropy of yield stress as calculated using Schmid's law. This relationship suggests the existence of a {100}<110> slip system in the TiN crystal. Transmission electron microscopy (TEM) observation of brittle cracks in TiN films confirmed that these cracks are caused not by cleavage fractures but by intergranular fractures.

• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 2001-01-15

著者

• TAKAHASHI Yutaka

  Department of Physics, The Cancer Institute, Japanese Foundation for Cancer Research

• 森 敏彦

  名古屋大学大学院情報科学研究科

• 山口 浩一

  Department Of Electronic Engineering

• 林 卓

  Department Of Materials Science Shonan Institute Of Technology

• TAKAHASHI Yoshikazu

  Ibaraki Prefectural University of Health Sciences

• Takahashi Y

  Ulvac Japan Ltd. Ibaraki Jpn

• Takahashi Yoshihiro

  Department Of Applied Physics School Of Engineering Tohoku University

• Takahashi Y

  Ntt Basic Research Laboratories Ntt Cornoration

• 山口 浩一

  電気通信大学電子工学科

• Hayashi T

  Research Laboratory Oki Electric Industry Co. Ltd.

• Takahashi Y

  Tanaka Solid Junction Project Erato Japan Science And Research Corporation

• Hayashi T

  Nisshin Electric Co.

• Hayashi Tsukasa

  R D Division Nissin Electric Co. Ltd.

• YAMAGUCHI Katsumi

  Japan Space Utilization Promotion Center

• MORI TOSHIHIKO

  Department of Pediatrics, Otaru Kyokai Hospital

• HAYASHI Toshiyuki

  Department of Neurosurgery, Saiseikai Utsunomiya Hospital

• Takahashi Yoichi

  Department Of Nuclear Engineering Faculty Of Engineering University Of Tokyo

• Hayashi Takahisa

  Vlsi Research & Development Center Oki Electric Industry Co Ltd.

• Hayashi Takafumi

  Department Of Applied Physics Faculty Of Engineering The University Of Tokyo

• Yamaguchi Kiyoshi

  Faculty Of Engineering Osaka Institute Of Technology

• Yamaguchi Katsumi

  Department Of Mechanical Engineering Nagoya University

• Watanabe Tomohiko

  Department Of Mechanical Engineering Nagoya University

• Watanabe Tomohiko

  Department Of Legal Medicine Hiroshima University School Of Medicine

• Hayashi Toshiyuki

  Department Of Mechanical Engineering Nagoya University

• Hayashi Toshiyuki

  Department Of Ergonomics Faculty Of Engineering Chiba University

• Hayashi Takayoshi

  Advanced Research Institute For Science And Engineering Waseda University

• Hayashi Takayoshi

  Musashino Electrical Communication Laboratory Nippon Telegraph And Telephone Public Corporation

• Takahashi Yukihiro

  Central Research Laboratory Matsushita Electric Industrial Co. Ltd.

• 林 卓

  マテリアル工学科

• MATSUMURO Akihito

  Department of Mechanical Engineering, Nagoya University

• Takahashi Y

  Department Of Applied Physics School Of Engineering Tohoku University

• Takahashi Yoshinori

  Division Of Electrical Electronic And Information Engineering Osaka University

• Matsumuro Akihito

  Department Of Mechanical Engineering Aichi Institute Of Technology

• Yuki Kazue

  Otorhinolaryngology Nara Medical University

• Mori Toshihiko

  Department Of Complex Systems Science Graduated School Of Information Science Nagoya University

• Takahashi Y

  National Inst. Animal Health Ibaraki Jpn

• 山口 浩一

  電気通信大学電気通信学部電子工学科

• YAMAGUCHI Kazufumi

  Wireless Research Laboratory, Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.

• Takahashi Y

  Department Of Molecular & Materials Sciences Kyushu University

• Hayashi Toshiyuki

  Department Of Applied Chemistry National Defence Academy

• HAYASHI Teru

  Research Laboratory of Precision Machinery and Electronics,Tokyo Institute of Technology

• Takahashi Yutaka

  Department Of Electrical Engineering Yamagata Univ.

• Yamaguchi Kazuhiko

  Institute For Laser Science University Of Electro-communications

• Takahashi Yutaka

  Department Of Applied Systems Science Graduate School Of Engineering Kyoto University

• Watanabe T

  Department Of Mechanical Engineering Nagoya University

• Watanabe Tomohiko

  Department of Cardiology, Tokyo Metropolitan Hiroo Hospital

• Yamaguchi Katsumi

  Department of Biotechnology and Life Sciences, Tokyo University of Agriculture and Technology

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