432 スパッタリングによる多層構造被膜に関する考察(O.S.9. 機能薄膜創成と物性)

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概要

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• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 2000-03-01

著者

• 森 敏彦

  名古屋大学大学院情報科学研究科

• 広田 健治

  九工大

• 竹村 嘉彦

  名古屋大学大学院

• 竹村 嘉彦

  名大(院)

• 纐纈 直人

  名大

• 森 敏彦

  名大工

• 広田 健治

  名大工

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