薄膜材料の単結晶シリコンチップ上での引張試験

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概要

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• 1996-11-11

著者

• 式田 光宏

  名大

• 佐藤 一雄

  名大

• 武田 光宏

  名古屋大学

• 式田 光宏

  名古屋大学 大学院工学研究科

• 吉岡 テツヲ

  名古屋大学大学院:(現)(株)デンソー

• 山崎 正憲

  名大

• 吉岡 テツヲ

  名大

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