J111024 静電アクチュエータ付き二軸独立型摩擦力顕微鏡用プローブによる局所的粘性計測([J11102]マイクロナノ理工学:nmからmmまでの表面制御とその応用(2))
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概要
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By using a dual-axis probe with an electrostatic actuator for friction force microscopy, a new method for measuring the local properties of micro/nano textured surfaces. In this probe, the lateral and vertical forces are measured without interfering with each other, by detecting the lateral and vertical forces with the double-cantilever and torsion beams, respectively. The micromachined electrode part can provide an electrostatic actuator that drives the probe laterally. This method successfully revealed the local rheological properties of the chemically patterned lubricant film on the 10-μm scale.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2011-09-11
著者
-
雨川 洋章
名大院
-
式田 光宏
名大
-
式田 光宏
名古屋大学
-
武田 光宏
名古屋大学
-
式田 光宏
名古屋大学 大学院工学研究科
-
雨川 洋章
名古屋大学工学部
-
伊藤 伸太郎
名古屋大学
-
福澤 健二
名古屋大学
-
辻 弘明
名大院
-
張 賀東
名古屋大学 大学院情報科学研究科 複雑系科学専攻
-
福澤 健二
名古屋大学マイクロナノシステム工学専攻
-
辻 弘朗
名古屋大学マイクロナノシステム工学専攻
-
張 賀東
名古屋大学
-
張 賀東
名古屋大学複雑系科学専攻
-
伊藤 伸太郎
名古屋大学マイクロナノシステム工学専攻
-
雨川 洋章
名古屋大学マイクロナノシステム工学専攻
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