J111022 ガスクラスターイオンビーム加工によるガラス面の表面粗さおよび表面エネルギーの変化([J11102]マイクロナノ理工学:nmからmmまでの表面制御とその応用(2))
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概要
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To develop ultra-smooth sliding pins that are suitable for pin-on-disk tests of nanometer-thick liquid lubricant films, we applied gas cluster ion beam (GCIB) treatment to BK7 glass surfaces and quantified the changes of surface roughness and surface energy. The surface roughness, particularly the height of the highest asperity was significantly reduced by the GCIB treatment. Meanwhile the change of surface energy was dependent on the treatment condition. For samples treated with Ar and N2-GCIB, the surface energy was once enhanced by the treatment, but it then decreased to its original value with elapsed time. For samples treated exclusively with Ar-GCIB and samples with deposited tough carbon films, the surface energy decreased after the treatment and remained stable with elapsed time.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2011-09-11
著者
-
三矢 保永
(財)名古屋産業科学研究所
-
伊藤 伸太郎
名古屋大学
-
福澤 健二
名古屋大学
-
榊原 寛幸
名古屋大学 大学院
-
難波 克也
名古屋大学 大学院
-
張 賀東
名古屋大学
-
榊原 寛幸
名古屋大学大学院工学研究科
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