MP-47 切欠き付単結晶シリコンの破壊の遷移とその寸法依存性(ポスターセッション)
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概要
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In order to study transition of the fracture in single crystal silicon, some experimental results and numerical studies are collected and discussed. Brittle-to-ductile transition in bulk silicon was previously observed above 700℃. In case of our studies of silicon with 5μm and 1μm thickness the fracture toughness increased in narrow temperature ranges, which were at much lower temperature than bulk silicon. We observed SEM photographs of fractured specimens and found the difference of the fracture surface between the specimen with upper and lower values of fracture toughness. It is concluded that the transition temperature of the fracture mode is dependent of the component size of silicon.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2011-09-25
著者
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