マイクロ・ナノメカトロニクス基盤技術 (特集 次世代センサー技術の展望)

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概要

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• 化学工業社の論文

著者

• 佐藤 一雄

  (株)日立製作所

関連論文

• ウェットエッチングによる特殊形状加工プロセスの新展開 : 単結晶シリコンの微細3次元加工の研究(第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム)
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• 24・1 マイクロ・ナノ加工,材料(24.マイクロ・ナノ工学,機械工学年鑑)
• 5-328 高度総合工学創造実験による創造的,自立的人材の育成を目指して : 名古屋大学工学研究科における創成教育の一取り組み(口頭発表論文,(12)エンジニアリングデザイン-II)
• シリコンのDRIEにおける大小開口混在パターン一括加工技術の開発
• 24・1 MEMS応用分野の話題(24.マイクロ・ナノ工学,機械工学年鑑)
• 537 繊維状触覚センサにおける力学的変形モデルとそれによる力検出評価(T04 MEMS技術を用いたヒューマンインターフェース,大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
• 430 単結晶シリコン薄膜の破壊靱性値 : 温度および方位依存性(T09-2 微小機械システムにおけるマイクロ・ナノ力学(2) 単結晶シリコンの力学特性,大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
• 単結晶シリコンのTEM内引張試験法の開発
• 織物状触覚センサにおける張力の影響
• ステント実装型流量センサの開発
• 結晶異方性ウェットエッチングによるスキャロッピングの選択除去法に関する研究
• 剪断変形型圧電素子を用いたアクティブヘッドスライダ
• 656 多段クラッチを用いたアレイ状触覚表示デバイスの開発(OS8-2,OS8 マイクロ・ナノ工学)
• 655 アルカリ性水溶液を用いたスキャロッピング除去法(OS8-2,OS8 マイクロ・ナノ工学)
• W01(1) マイクロ・ナノ工学専門会議発足の意義(【W01】機械工学におけるマイクロ・ナノ工学)
• 2839 単結晶シリコン薄膜の破壊靱性に及ぼす寸法と環境温度の効果(S08-3 微小機械設計・開発のための実験力学の新展開(3),S08 微小機械設計・開発のための実験力学の新展開)
• 2831 薄膜の曲げ試験用デバイスの開発(S08-2 微小機械設計・開発のための実験力学の新展開(2),S08 微小機械設計・開発のための実験力学の新展開)
• 中空糸材を用いた静電容量型織物状触覚センサ
• 自励・自己検出機能を有する水晶音叉型AFMプローブの開発
• MEMS'07 The 20^ IEEE International Conference on Micro-Electro-Mechanical Systems 報告
• 1100 MEMS産業基盤強化の最近の動向(キーノートスピーチ,マイクロメカトロニクス)
• 11-217 学年レベルに応じた階層的モノづくり実習コース : 創造工学センターを拠点とする実習コース開発の取り組み((7)ものつくり教育-V)
• 磁性微粒子を利用した液滴搬送によるマイクロ生化学システムの研究
• 機械加工とシリコンエッチングによる薬液導入路を持つマイクロニードルアレイの製作
• 音叉型水晶振動子を用いた非接触型AFMプローブの設計および製作
• MEMS開発力を強化するソフトウエア : プロセス開発に役立つ知識データベース(MEMS設計・製造技術)
• 生体適合性材料を用いた肺機能測定用流量センサの開発
• 低温環境下における単結晶シリコン薄膜の破壊挙動
• ウェアラブル実装に対応した円筒状繊維熱式加速度センサの提案
• 1-212 体験実習付き授業プログラムの構築と実践 : 授業「材料加工学」補完実習2年間の取り組み(口頭発表論文,(02)専門科目の講義・演習-II)
• 4-329 授業「材料加工学」に連携した体感型実験システムの構築 : 授業補完実習の企画と実践((9)ものつくり教育-VII,口頭発表論文)
• 創作型モノづくり実習「CDクラッシャー」の設計製作
• 175 「材料加工学」授業補完実習プログラムの開発(GS10 機械力学一般)
• 5-229 創造工学センターを拠点とする感性・創造実習,4年間の試み : 自由デザインメタルクラフト・モビール製作((7)ものつくり教育-IX)
• 523 大学1,2年生のための導入実習:感性・創造メタルクラフト : 一枚の金属板を使って自由表現するモビール製作(変革する東海地区の工学・技術教育-社会のニーズに応えて-,工学教育フォーラム)
• 2010年度精密工学会秋季大会報告--どまんなか名古屋で精密を語る
• プロトプラストの耐久力の定量化
• マイクロメカニカルデバイスを用いた1対1細胞融合技術の開発
• PWM静電サーボ式加速度センサにおける質量部の挙動解析
• マイクロマシニングによる超音波顕微鏡用シリコン音響レンズの開発 : 第3報,直線集束ビーム超音波顕微鏡用シリンドリカルレンズの開発
• マイクロマシニングによる超音波顕微鏡用シリコン音響レンズの開発 : 第2報,室温観察用 1 GHz レンズの開発
• マイクロマシニングによる超音波顕微鏡用シリコン音響レンズの開発 : 第1報,フィゾー形干渉計による球面精度の評価
• シリコン音響レンズの開発
• シリコンウエハ上の微小な機械要素の加工(マイクロメカニズム)
• 単結晶Siの異方性エッチング技術(超微細加工技術の進展)
• 13・9 チューブ・フォーミング(13.塑性加工,機械工学年鑑)
• 体験実習付き授業プログラムの開発と実践
• マイクロストラクチャの作成技術
• 2P1-C22 透過型電子顕微鏡用ナノマニピュレータによるシリコンマイクロチップを用いたその場引張試験(ナノ・マイクロ作業システム)
• 講義理解のための実習 : 機械系実習教育に対するあらたな要請
• 24・1 マイクロ・ナノ加工,材料(24.マイクロ・ナノ工学,機械工学年鑑)
• T0302-2-6 TEM内における単結晶シリコン薄膜のその場引張試験([T0302-2]高信頼マイクロ・ナノデバイスのための設計・計測技術(2):応力・ひずみ計測)
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• MNM-3A-5 単結晶シリコン薄膜のTEM内引張試験(セッション 3A 単結晶・多結晶シリコンの疲労寿命評価とメカニズムの解明)
• MNM-KN-1 MEMSに科学を : マイクロ・ナノ理工学の深化が産業を支える(キーノート・セッション)
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