土屋 智由 | 大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻

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概要

• 同名の論文著者
• 大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻の論文著者

関連著者

• 土屋 智由

  大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻

• 土屋 智由

  京都大学大学院

• 土屋 智由

  (株)豊田中央研究所

• 土屋 智由

  豊田中央研究所 半導体デバイス・センサ研究室

• 土屋 智由

  株式会社豊田中央研究所

• 土屋 智由

  京都大学

• 田畑 修

  立命館大学理工学部機械工学科

• 田畑 修

  京都大学 工学研究科

• 菅野 公二

  京都大学大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻

• 田畑 修

  京都大学

• 土屋 智由

  京都大学大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻

• 田畑 修

  京都大学工学研究科マイクロエンジニアリング専攻ナノ・マイクロシステム工学研究室

• 菅野 公二

  京都大学

• 土屋 智由

  京都大学工学研究科マイクロエンジニアリング専攻

• 田畑 修

  京都大学大学院 工学研究科

• 田畑 修

  立命館大学 理工学部 機械工学科

• 平井 義和

  京都大学

• 平井 義和

  京都大学大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻

• 平井 義和

  京都大学工学研究科マイクロエンジニアリング専攻ナノ・マイクロシステム工学研究室

• 土屋 智由

  京大院

• 菅野 公二

  京大院

• 田畑 修

  京大院

• 坂田 二郎

  (株)豊田中央研究所

• 池原 毅

  産総研

• 樋口 雄一

  京都大学大学院 工学研究科

• 土屋 智由

  豊田中央研究所

• 種村 友貴

  京都大学大学院 工学研究科

• 日下部 達哉

  京都大学大学院 工学研究科

• 宮本 憲治

  京都大

• 井上 敦子

  (株)豊田中央研究所

• 田中 伸治

  京都大学

• 中田 哲博

  京都大学

• 徳崎 裕幸

  京都大学工学研究科マイクロエンジニアリング専攻ナノ・マイクロシステム工学研究室

• 樋口 雄一

  京大院

• 種村 友貴

  京大院

• 脇田 拓

  京都大学

• 市橋 治

  京都大学

• 平井 義和

  京大院

• 田畑 修

  京都大学大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻

• 橋口 原

  静岡大学

• 坂田 二郎

  豊田中央研究所 機能デバイス研究室

• 浅海 和雄

  みずほ情報総研

• 稲本 好輝

  京都大学

• 菅野 公二

  京都大学大学院 工学研究科

• 高尾 英邦

  豊橋技術科学大学

• 中野 由崇

  (株)豊田中央研究所

• 城森 知也

  京都大

• 高尾 英邦

  香川大学微細構造デバイス統合研究センター:豊橋技術科学大学工学部

• 高尾 英邦

  豊橋技術科学大学工学部電気・電子工学系

• 菅野 公二

  京都大学工学研究科マイクロエンジニアリング専攻ナノ・マイクロシステム工学研究室

• 土屋 智由

  京都大学工学研究科マイクロエンジニアリング専攻ナノ・マイクロシステム工学研究室

• 佐藤 亮

  京大院

• 池田 哲郎

  京都大学

• 小池 智之

  マイクロマシンセンター

• 藤原 信代

  みずほ情報総研株式会社

• 日下部 達哉

  京大院

• 藤原 信代

  みずほ情報総研

• 徳崎 裕幸

  京大院

• 三木 則尚

  慶應義塾大学

• 坂田 二郎

  豊田中央研究所 デバイス部

• 池田 哲郎

  京都大

• 田畑 修

  京都大学工学研究科マイクロエンジニアリング専攻

• 菅野 公二

  京都大学工学研究科マイクロエンジニアリング専攻

• 三木 則尚

  神奈川科学技術アカデミー

• 村上 裕二

  広島大学

• 野中 聡

  旭川医科大学耳鼻咽喉科・頭頸部外科学講座

• 佐藤 一雄

  名古屋大学大学院工学研究科

• 辻本 和也

  京都大学

• 杉山 正和

  東京大学大学院工学系研究科電子工学専攻

• 杉山 正和

  東京大学

• 庄子 習一

  早稲田大学

• 竹内 昌治

  東京大学

• 北村 隆行

  京都大学大学院工学研究科

• 高尾 英邦

  豊橋技術科学大学電気・電子工学系

• 林 健司

  九州大学

• 石田 章

  物質・材料研究機構

• 佐々木 実

  豊田工業大学

• 阪田 知巳

  日本電信電話

• 中本 高道

  東京工業大学・理工学研究科電子物理学専攻

• 藤田 孝之

  兵庫県立大学

• 佐藤 一雄

  名古屋大学

• 小西 聡

  立命館大学

• 橋本 雅人

  トヨタ自動車株式会社

• 式田 光宏

  名大

• 毛塚 博史

  東京工科大

• 庄子 習一

  早大理工

• 澄川 貴志

  京都大学院

• 鷲津 正夫

  東大

• 鷲津 正夫

  東京大学

• 船橋 博文

  豊田中央研究所

• 式田 光宏

  名古屋大学

• 稲本 好輝

  京都大

• 村上 裕二

  広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所

• 山下 馨

  京都工芸繊維大学

• 古賀 章浩

  東芝

• 安達 洋

  室蘭工業大学

• 廣田 正樹

  日産自動車

• 室 英夫

  千葉工業大学

• 三木 則尚

  慶応義塾大学

• 中西 博昭

  島津製作所

• 日暮 栄治

  東京大学

• 澤田 廉士

  九州大学

• 積 知範

  オムロン

• 北村 隆行

  京都大学大学院工学研究科機械物理工学専攻

• 北村 隆行

  京都大学

• 横山 敦子

  トヨタ自動車(株)

• 杉本 雅裕

  トヨタ自動車(株)

• 野々村 裕

  (株)豊田中央研究所 情報・エレクトロニクス部

• 古賀 章浩

  株式会社 東芝

• 毛塚 博史

  東京工科大学

• 小川 博文

  機械技術研究所

• 中本 高道

  東京工業大学理工学研究科

• 中本 高道

  東京工業大学

• 三木 則尚

  慶應義塾大学大学院 理工学研究科 総合デザイン工学専攻

• 庄子 習一

  早稲田大学基幹理工学部電子光システム学科

• 庄子 習一

  早稲田大学理工学術院ナノ理工学専攻

• 日暮 栄治

  東京大学先端科学技術研究センター

• 武田 光宏

  名古屋大学

• 廣田 正樹

  日産自動車(株)

• 鈴木 雄二

  東京大学

• 式田 光宏

  名古屋大学 大学院工学研究科

• 樹神 雅人

  豊田中研

• 田畑 修

  京都大学 大学院 工学研究科

• 小川 博文

  独立行政法人産業技術総合研究所

• 樹神 雅人

  株式会社豊田中央研究所

• 藤吉 基弘

  株式会社豊田中央研究所

• 野々村 裕

  株式会社豊田中央研究所

• 澤田 廉士

  九州大学工学研究院機械工学部門

• 野々村 裕

  豊田中研

• 藤吉 基弘

  株式会社 豊田中央研究所

• 船橋 博文

  豊田中央研究所 半導体デバイス・センサ研究室

• 庄子 周一

  早大理工

• 橋本 雅人

  トヨタ自動車

• 小池 智之

  財団法人マイクロマシンセンター

• 土屋 智由

  京都大学マイクロエンジニアリング専攻

• 橋口 原

  静岡大学電子工学研究所

• 水田 千益

  数理システム

• 望月 俊輔

  数理システム

• 内田 雄喜

  京都大学

• 石田 章

  金材技研

• 中本 高道

  東京工業大学工学部電気電子工学科

• 内田 雄喜

  京都大学大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻

• 杉本 雅裕

  トヨタ自動車

• 竹内 昌治

  東京大学産業科学研究所:beansプロジェクト

• 中田 哲博

  京大院

• 田中 伸治

  京大院

• 吉川 弥

  京都大学 工学研究科

• 篠部 晃生

  ローム(株)

• 菅野 公二

  京都大学 工学研究科

• 土屋 智由

  京都大学 工学研究科

• 石田 章

  物質材料研究機構

• 田村 智久

  京大

• EL-Bab Ahmed

  Assiut University

• 山田 英雄

  京都大学

• 李 周原

  京都大学

• 石井 昌宏

  京都大学

• 樋口 雄一

  京都大学工学研究科マイクロエンジニアリング専攻

• 山田 英雄

  Beans研究所

• 横山 敦子

  トヨタ自動車

• 谷山 彰

  京大院

• 石田 章

  金属材料技術研究所第5研究グループ第2サブグループ

• 脇田 拓

  京大院

• 小西 聡

  立命館大学理工学部

• 吉宗 秀晃

  京都大学

• 北村 彰男

  京都大学大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻

• 浅海 和雄

  みずほ情報総研株式会社

• 日暮 栄治

  東京大学先端科学技術センター

• 林 健司

  九大

• 平井 義和

  京都大学工学研究科マイクロエンジニアリング専攻

• 古賀 章浩

  株式会社東芝

• 澄川 貴志

  京都大学

• 松本 健太

  京都大学[院]

• 松本 健太

  京都大学

• 土屋 智由

  京大

• 平井 義和

  京都大学大学院工学研究科

• 藤田 孝之

  兵庫県立大

• 平井 義和

  京都大学工学研究科

• 土屋 智由

  京都大学工学研究科

• 菅野 公二

  京都大学工学研究科

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著作論文

• 第25回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
• 432 単結晶シリコンの曲げ試験における結晶異方性の効果(T09-2 微小機械システムにおけるマイクロ・ナノ力学(2) 単結晶シリコンの力学特性,大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
• ポジ型厚膜レジストの溶解速度の露光波長依存性と3次元加工への応用
• 3308 移動マスクUV露光法によるポジ型厚膜レジストの3次元加工と形状シミュレーション技術(J26-2 マイクロメカトロニクス(2),J26 マイクロメカトロニクス)
• Fast Marching Method を適用した移動マスクUV露光用加工形状シミュレーション技術
• 単結晶シリコン振動子の疲労寿命予測
• 3方向からの交互脈動送液による高速2液混合
• CVD法と熱処理で作製した多結晶Si膜の粒界物性評価
• 単結晶シリコンの引張強度評価の Round Robin Test : 試験片作製プロセスの開発
• プラズマCVD SiO_2薄膜の引張試験 : 試験雰囲気が引張強度に与える影響評価
• 静電力チャックを用いた絶縁薄膜の引張試験
• 429 単結晶シリコン引張試験における表面酸化の影響評価(T09-2 微小機械システムにおけるマイクロ・ナノ力学(2) 単結晶シリコンの力学特性,大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
• 1119 静電容量型MEMSデバイスを用いたカーボンナノ材料引張試験(要旨講演,マイクロメカトロニクス)
• 5507 電磁式天秤を用いたマイクロ構造のバネ定数測定(J19-2 マイクロメカトロニクス(2),J19 マイクロメカトロニクス)
• シリコンセンサデバイスの材料技術(マイクロ構造デバイスの現状)
• 多結晶Si膜の粒界キャラクタリゼーション (特集 マイクロセンサ用薄膜の機械的物性評価と解析)
• 自己変位検出機能を有する面内2自由度静電櫛歯トランスデューサの等価回路
• 非線形マイクロ振動子に働く粘性効果の測定
• 薄膜引張試験による多結晶シリコン膜のセング率測定
• 静電力チャックを用いた絶縁薄膜の引張試験
• 第26回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
• 第24回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
• MEMS等価回路ジェネレータの開発(プロセス・デバイス・回路シミュレーション及び一般)
• MEMS等価回路ジェネレータの開発
• 2121 任意基板への微小要素の集積化のためのマニピュレーションシステム(要旨講演,一般セッション:マイクロナノメカトロニクス)
• DNAを利用したAuナノ微粒子のシーケンシャルセルフアセンブル
• 3313 接触帯電による静電付着エネルギーを利用したセルフアセンブル(J26-3 マイクロメカトロニクス(3),J26 マイクロメカトロニクス)
• 混合速度・温度制御可能な金ナノ粒子生成用マイクロリアクタ
• M2-3 単軸引張試験による単結晶シリコンの機械的特性の結晶異方性評価(M2 材料評価)
• T0302-1-1 MEMS共振デバイスの低サイクル破壊試験(マイクロ・ナノ力学とシステム設計論(1))
• 2122 接触帯電による静電付着エネルギーを利用したセルフアセンブルとアセンブルプロセスのモデリング(要旨講演,一般セッション:マイクロナノメカトロニクス)
• 超小型触覚ディスプレイ用垂直駆動SMA薄膜アクチュエータの設計
• T0302-2-3 直流動作点解析に対応した静電櫛歯トランスデューサの等価回路の構築(マイクロ・ナノ力学とシステム設計論(2))
• 312 バルブレス圧電マイクロポンプと粘弾性マイクロ流路の電気等価回路(T02-1 マイクロナノメカトロニクス(1),大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
• 電気等価回路モデルによる高周波駆動バルブレス圧電マイクロポンプの特性解析
• 3310 低侵襲手術用触覚センサーの構造設計(J26-2 マイクロメカトロニクス(2),J26 マイクロメカトロニクス)
• 2837 高温薄膜引張試験装置の開発(S08-3 微小機械設計・開発のための実験力学の新展開(3),S08 微小機械設計・開発のための実験力学の新展開)
• 電気等価回路を用いたバルブレス圧電マイクロポンプの流れ特性解析とその実験的評価
• 京都大学大学院 工学研究科 マイクロエンジニアリング専攻 ナノ・マイクロシステム工学研究室
• 薄膜材料の高温引張試験に関する基礎検討
• 電気等価回路モデルによるバルブレス圧電マイクロポンプの設計・解析
• 粒子アセンブルにおける液中微粒子の付着力評価
• MEMS2010報告
• CT-1-2 MEMS素子のモデリング技術(チュートリアルセッション,CT-1.More than Mooreを実現するMEMS融合LSI技術,ソサイエティ企画)
• 24・6 MEMS用材料の力学特性評価(24.マイクロ・ナノ工学,機械工学年鑑)
• 2種類の液滴の界面張力を用いた逐次積層セルフアセンブル
• MEMS材料の信頼性評価
• MEMSの機械的信頼性(MEMSの信頼性)
• 920 単結晶シリコン垂直櫛形電極を用いた静電容量検出Z軸加速度センサ(GS-16 センシング,研究発表講演)
• マイクロ・ナノ材料の試験方法
• 24・3 集積化MEMS(24.マイクロ・ナノ工学,機械工学年鑑)
• T0302-2-2 顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン振動子の局所応力解析([T0302-2]高信頼マイクロ・ナノデバイスのための設計・計測技術(2):応力・ひずみ計測)
• T0302-1-1 (110)単結晶Siの引張試験における破壊の結晶異方性評価([T0302-1]高信頼マイクロ・ナノデバイスのための設計・計測技術(1):シリコンの破壊と疲労)
• MEMS/NEMSと機械的物性評価
• 静電チャックを用いた薄膜引張り試験装置
• 多結晶シリコンヨーレートセンサ
• 1998 R&D 100 Awardsを受賞して
• 薄膜の引張強度評価 (特集 マイクロセンサ用薄膜の機械的物性評価と解析)
• MNM-3A-4 (110)単結晶Siマイクロ試験片における破壊の結晶異方性のワイブル統計解析(セッション 3A 単結晶・多結晶シリコンの疲労寿命評価とメカニズムの解明)
• MNM-P11-3 自己変位検出型静電櫛歯等価回路を用いた振動型ジャイロの動作解析(P11 電気等価回路から考えるMEMS設計手法)
• 大変位による非線形応答を考慮した静電櫛歯型MEMSデバイスの電気等価回路の構築
• 高速脈動混合マイクロ流体デバイスを用いた金ナノ粒子の合成
• 微細加工技術を応用したチップスケール原子磁気センサ用気密封止技術
• 716 微小構造体の共振疲労試験手法の開発(疲労荷重下の破壊II,破壊の発生・進展とその解析・評価・計測,オーガナイスドセッション7)

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