室 英夫 | 千葉工業大学
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概要
関連著者
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室 英夫
千葉工業大学
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水口 和彦
千葉工業大学
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斉藤 千尋
並木精密宝石
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飯高 俊哉
千葉工業大学
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落合 邦行
千葉工業大学
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中村 元一
並木精密宝石 (株)
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中塚 征
千葉工業大学
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浜島 美央
TDK(株)
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浜島 美央
TDK(株)
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岡崎 禎子
弘前大学
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長田 貴裕
千葉工業大学
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長田 和樹
ニッコーテクノ株式会社
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水口 和彦
エドワーズ(株)
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長田 和樹
ニッコーテクノ(株)
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古屋 泰文
弘前大学
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齊藤 崇
千葉工業大学
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庄司 真弘
千葉工業大学
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李 正浩
千葉工業大学
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中村 元一
並木精密宝石
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杉山 正和
東京大学大学院工学系研究科電子工学専攻
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杉山 正和
東京大学
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竹内 昌治
東京大学
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高尾 英邦
豊橋技術科学大学電気・電子工学系
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林 健司
九州大学
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佐々木 実
豊田工業大学
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阪田 知巳
日本電信電話
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中本 高道
東京工業大学・理工学研究科電子物理学専攻
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古屋 泰文
Graduate School Of Science And Technology Hirosaki University
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藤田 孝之
兵庫県立大学
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古屋 泰文
弘前大
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小西 聡
立命館大学
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毛塚 博史
東京工科大
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土屋 智由
京都大学
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村上 裕二
広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所
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岡崎 禎子
Graduate School Of Science And Technology Hirosaki University
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山下 馨
京都工芸繊維大学
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古賀 章浩
東芝
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安達 洋
室蘭工業大学
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廣田 正樹
日産自動車
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三木 則尚
慶応義塾大学
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中西 博昭
島津製作所
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日暮 栄治
東京大学
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澤田 廉士
九州大学
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積 知範
オムロン
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土屋 智由
(株)豊田中央研究所
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古賀 章浩
株式会社 東芝
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毛塚 博史
東京工科大学
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高尾 英邦
豊橋技術科学大学
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中本 高道
東京工業大学理工学研究科
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中本 高道
東京工業大学
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三木 則尚
慶應義塾大学大学院 理工学研究科 総合デザイン工学専攻
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土屋 智由
豊田中央研究所 半導体デバイス・センサ研究室
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土屋 智由
京都大学大学院
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土屋 智由
大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻
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土屋 智由
株式会社豊田中央研究所
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日暮 栄治
東京大学先端科学技術研究センター
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廣田 正樹
日産自動車(株)
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斉藤 千尋
並木精密宝石株式会社njc研究所
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高尾 英邦
香川大学微細構造デバイス統合研究センター:豊橋技術科学大学工学部
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高尾 英邦
豊橋技術科学大学工学部電気・電子工学系
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澤田 廉士
九州大学工学研究院機械工学部門
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中本 高道
東京工業大学工学部電気電子工学科
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竹内 昌治
東京大学産業科学研究所:beansプロジェクト
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三木 則尚
慶應義塾大学
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水口 和彦
エドワーズ株式会社
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小西 聡
立命館大学理工学部
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日暮 栄治
東京大学先端科学技術センター
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Furuya Yasubumi
Fac. Of Sci. And Technol. Hirosaki Univ.
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林 健司
九大
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古賀 章浩
株式会社東芝
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浜島 美央
千葉工業大学
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三木 則尚
神奈川科学技術アカデミー
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斉藤 千尋
並木精密宝石 (株)
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村上 裕二
広島大学
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藤田 孝之
兵庫県立大
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長田 貴裕
(株) ローレル
著作論文
- 第25回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- SOI-MEMS技術による共振子の共振周波数の静電チューニングの検討
- 分割型補助電極を有する静電チューニング用共振子テスト素子の設計と評価
- SOI-MUMPsプロセスによる片持ち梁構成の熱式マイクロアクチュエータの最適化検討
- 分割型補助電極を有するSi共振子の静電チューニング用テスト素子
- FeGa/PZT積層型の高感度磁気センサの検討
- U字形及びI字形のSOI-MUMPsによる片持ち梁構成の熱式マイクロアクチュエータ
- 片持ち梁構成のFePd/PZT積層型の高感度磁気センサの検討
- 分割型補助電極を有するSi共振子の静電チューニング用テスト素子
- ホール素子特性における応力依存性の検討
- 片持ち梁構成のFePd/PZT積層型の高感度磁気センサの検討
- 片持ち梁式ヒータと温度センサを用いた熱伝導式真空センサ
- ホール素子特性における応力依存性の検討
- 片持ち梁式圧電バイモルフを用いた自立型振動センサの検討
- Study on Thermal MEMS Vacuum Sensors Consisting of a Cantilever-Type Heater and Thermally Coupled Temperature Detectors
- 共振周波数の異なる複数の片持ち梁式圧電バイモルフを用いた自立型振動センサ
- 片持ち梁式ヒータと熱結合した温度センサからなる熱式MEMS真空センサの検討
- Auメッキ層及び台形型ビームを用いたMEMS熱式マイクロ・アクチュエータの検討