中塚 征 | 千葉工業大学

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概要

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• 同名の論文著者
• 千葉工業大学の論文著者

関連著者

• 室 英夫

  千葉工業大学

• 中塚 征

  千葉工業大学

著作論文

• 片持ち梁式ヒータと温度センサを用いた熱伝導式真空センサ
• Study on Thermal MEMS Vacuum Sensors Consisting of a Cantilever-Type Heater and Thermally Coupled Temperature Detectors
• 片持ち梁式ヒータと熱結合した温度センサからなる熱式MEMS真空センサの検討

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