Study on Thermal MEMS Vacuum Sensors Consisting of a Cantilever-Type Heater and Thermally Coupled Temperature Detectors
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概要
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In order to develop compact, low-cost vacuum sensors, a thermally-conductive type MEMS sensor fabricated using a simple SOI-MEMS technology was studied. The sensor consists of cantilever-type heater and two temperature detectors which are faced to the tip of the heater. The prototype was fabricated and evaluated, resulting in a wide measurement range.
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