共振周波数の異なる複数の片持ち梁式圧電バイモルフを用いた自立型振動センサ
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
In order to realize a vibration sensor which can operate without power supply, an optimization of the sensor configuration was studied using commercial piezoelectric bimorphs. The dependences of the energy conversion efficiency on weight of metal mass attached to the tip of the piezoelectric bimorph and peripheral circuit components were investigated. Vibration sensors using several piezoelectric bimorphs with different weights were designed, fabricated and tested.
著者
関連論文
- 第25回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- SOI-MEMS技術による共振子の共振周波数の静電チューニングの検討
- 分割型補助電極を有する静電チューニング用共振子テスト素子の設計と評価
- SOI-MUMPsプロセスによる片持ち梁構成の熱式マイクロアクチュエータの最適化検討
- 分割型補助電極を有するSi共振子の静電チューニング用テスト素子
- FeGa/PZT積層型の高感度磁気センサの検討
- U字形及びI字形のSOI-MUMPsによる片持ち梁構成の熱式マイクロアクチュエータ
- 片持ち梁構成のFePd/PZT積層型の高感度磁気センサの検討
- 分割型補助電極を有するSi共振子の静電チューニング用テスト素子
- ホール素子特性における応力依存性の検討
- 片持ち梁構成のFePd/PZT積層型の高感度磁気センサの検討
- 片持ち梁式ヒータと温度センサを用いた熱伝導式真空センサ
- ホール素子特性における応力依存性の検討
- 片持ち梁式圧電バイモルフを用いた自立型振動センサの検討
- Study on Thermal MEMS Vacuum Sensors Consisting of a Cantilever-Type Heater and Thermally Coupled Temperature Detectors
- 共振周波数の異なる複数の片持ち梁式圧電バイモルフを用いた自立型振動センサ
- 片持ち梁式ヒータと熱結合した温度センサからなる熱式MEMS真空センサの検討
- Auメッキ層及び台形型ビームを用いたMEMS熱式マイクロ・アクチュエータの検討