分割型補助電極を有するSi共振子の静電チューニング用テスト素子
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概要
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Recently resonant sensors have been extensively studied to obtain high resolution. The resonant frequencies might deviate from the designed value due to manufacturing error or packaging stress, which requires the tuning technologies. This paper describes design and evaluation results of test devices for the electrostatic tuning of the silicon micro-resonators fabricated by a simple SOI-MEMS process.
- 電気学会の論文
- 2012-05-01
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