杉山 正和 | 東京大学
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概要
関連著者
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杉山 正和
東京大学
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杉山 正和
東京大学大学院工学系研究科電子工学専攻
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平山 秀樹
理化学研究所
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高野 隆好
理化学研究所
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椿 健治
理化学研究所
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美濃 卓哉
理化学研究所
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美濃 卓哉
理化学研究所:パナソニック電工株式会社
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平山 秀樹
理研
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寒川 誠二
東北大学
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平山 秀樹
(独)理化学研究所
著作論文
- 第25回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- 多点型電極を用いたカーボンナノチューブの誘電泳動
- 合成石英のフェムト秒レーザーアシスト・ドライエッチング : ナノ周期構造の選択的エッチング
- 超臨界流体を用いたSiO_2製膜における酸化剤効果
- MEMS応用に向けた超臨界流体を用いた金属薄膜形成技術の開発
- 高アスペクトトレンチへの選択的自己組織化微粒子配列
- Si基板上高品質AlNテンプレートの開発
- SPMリソグラフィ用耐摩耗マイクロプローブ
- 超臨界流体を用いたSiO_2製膜の開発
- 材料結合性ペプチド・抗体を用いたナノ世界での異種材料接合技術