高アスペクトトレンチへの選択的自己組織化微粒子配列
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概要
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- 2010-06-17
著者
-
杉山 正和
東京大学大学院工学系研究科電子工学専攻
-
杉山 正和
東京大学
-
阿波嵜 実
BEANSプロジェクト3D BEANSセンター
-
相馬 伸一
富士電機システムズ
-
諸貫 信行
首都大学東京
-
諸貫 信行
首都大学東京システムデザイン学部
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