ELO-AlNテンプレートを用いたSi基板上AlGaN系UV-LEDの256nm発光

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概要

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• 2011-11-10

著者

• 杉山 正和

  東京大学

• 平山 秀樹

  理化学研究所

• 美濃 卓哉

  理化学研究所:パナソニック電工株式会社

• 高野 隆好

  理化学研究所

• 椿 健治

  理化学研究所

• 美濃 卓哉

  理化学研究所

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