Si基板上高品質AlNテンプレートの開発
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概要
- 論文の詳細を見る
- 2010-06-17
著者
-
杉山 正和
東京大学
-
杉山 正和
BEANSプロジェクト 3DBEANSセンター
-
平山 秀樹
理研
-
平山 秀樹
(独)理化学研究所
-
美濃 卓哉
BEANSプロジェクト
-
高野 隆好
BEANSプロジェクト
-
椿 健治
BEANSプロジェクト
-
平山 秀樹
BEANSプロジェクト
-
杉山 正和
Beansプロジェクト
-
平山 秀樹
理化学研究所・テラヘルツ量子素子研究チーム
-
平山 秀樹
(独)理化学研究所 基幹研究所 先端光科学研究領域 テラヘルツ光研究グループテラヘルツ量子素子研究チーム
-
美濃 卓哉
理化学研究所:パナソニック電工株式会社
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