杉山 正和 | BEANSプロジェクト 3DBEANSセンター
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概要
関連著者
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杉山 正和
BEANSプロジェクト 3DBEANSセンター
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杉山 正和
東京大学
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植木 真治
BEANSプロジェクト 3DBEANSセンター
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久保田 智広
BEANSプロジェクト 3DBEANSセンター
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BEANSプロジェクト 3DBEANSセンター
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杉山 正和
Beansプロジェクト
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オムロン(株) 技術本部 コアテクノロジーセンター
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久保田 智広
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植木 真治
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理化学研究所・テラヘルツ量子素子研究チーム
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平山 秀樹
(独)理化学研究所 基幹研究所 先端光科学研究領域 テラヘルツ光研究グループテラヘルツ量子素子研究チーム
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美濃 卓哉
理化学研究所:パナソニック電工株式会社
著作論文
- 半導体への電界の浸みこみを考慮した櫛歯アクチュエータの特性解析
- Si基板上高品質AlNテンプレートの開発
- 半導体への電界の浸みこみを考慮した櫛歯アクチュエータの特性解析
- 界面準位を考慮した櫛歯アクチュエータの特性解析