杉山 正和 | Beansプロジェクト
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概要
関連著者
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杉山 正和
Beansプロジェクト
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久保田 智広
BEANSプロジェクト 3DBEANSセンター
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寒川 誠二
BEANSプロジェクト 3DBEANSセンター
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橋口 原
BEANSプロジェクト 3DBEANSセンター
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西森 勇貴
BEANSプロジェクト
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今本 浩史
BEANSプロジェクト
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植木 真治
Beansプロジェクト
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今本 浩史
オムロン株式会社
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今本 浩史
オムロン(株)先端デバイス研究所
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杉山 正和
東京大学
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杉山 正和
BEANSプロジェクト 3DBEANSセンター
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寒川 誠二
東北大学
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久保田 智広
東京大学
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植木 真治
BEANSプロジェクト 3DBEANSセンター
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今本 浩志
BEANS研
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西森 勇貴
静岡大学 電子工学研究所
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今本 浩史
オムロン(株) 技術本部 コアテクノロジーセンター
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平山 秀樹
理研
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平山 秀樹
(独)理化学研究所
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美濃 卓哉
BEANSプロジェクト
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高野 隆好
BEANSプロジェクト
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椿 健治
BEANSプロジェクト
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平山 秀樹
BEANSプロジェクト
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平山 秀樹
理化学研究所・テラヘルツ量子素子研究チーム
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平山 秀樹
(独)理化学研究所 基幹研究所 先端光科学研究領域 テラヘルツ光研究グループテラヘルツ量子素子研究チーム
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美濃 卓哉
理化学研究所:パナソニック電工株式会社
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西森 勇貴
BEANS研
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寒川 誠二
BEANS研
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川勝 英樹
東京大学
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植木 真治
BEANS研
著作論文
- Si基板上高品質AlNテンプレートの開発
- 半導体への電界の浸みこみを考慮した櫛歯アクチュエータの特性解析
- 界面準位を考慮した櫛歯アクチュエータの特性解析
- MNM-P11-2 ゲート・チャネル間の電気機械相互作用を考慮したVB-FETのモデリング(P11 電気等価回路から考えるMEMS設計手法)
- D-1-5 Coupled Vibrating-Body Field Effect Transistorの特性解析(D-1 マイクロアクチュエータ,口頭発表:マイクロナノメカトロニクス)
- D-2-5 カンチレバー表面のエッチングダメージが及ぼす機械特性への影響評価手法の提案(D-2 設計・プロセス,口頭発表:マイクロナノメカトロニクス)