合成石英のフェムト秒レーザーアシスト・ドライエッチング : ナノ周期構造の選択的エッチング
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概要
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- 2010-06-17
著者
-
杉山 正和
東京大学大学院工学系研究科電子工学専攻
-
杉山 正和
東京大学
-
寒川 誠二
東北大学流体科学研究所
-
寒川 誠二
東北大学
-
額賀 理
BEANSプロジェクト
-
山本 敏
株式会社フジクラ
-
久保田 智広
東京大学
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