固体撮像素子のための低損傷プラズマプロセス : パルス時間変調プラズマとガス種選択による紫外線誘起損傷の低減
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概要
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- 映像情報メディア学会の論文
- 2004-03-26
著者
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寒川 誠二
東北大学流体科学研究所
-
沖川 満
東北大学流体科学研究所
-
石川 寧
東北大学流体科学研究所
-
市橋 由成
三洋電機株式会社 技術開発本部 マテリアルデバイス技術開発 センタビジネスユニットアドバンストデバイス部 プロセス技術グループ
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