沖川 満 | 東北大学流体科学研究所

スポンサーリンク

概要

• 沖川 満の詳細を見る
• 同名の論文著者
• 東北大学流体科学研究所の論文著者

関連著者

• 寒川 誠二

  東北大学流体科学研究所

• 沖川 満

  東北大学流体科学研究所

• 石川 寧

  東北大学流体科学研究所

• 市橋 由成

  三洋電機株式会社 技術開発本部 マテリアルデバイス技術開発 センタビジネスユニットアドバンストデバイス部 プロセス技術グループ

著作論文

• 固体撮像素子のための低損傷プラズマプロセス : パルス時間変調プラズマとガス種選択による紫外線誘起損傷の低減
• 固体撮像素子のための低損傷プラズマプロセス (特集2 CCDとCMOSセンサ)

スポンサーリンク